ESCALAB XI+ X 射线光电子能谱仪

Thermo Fisher Scientific ESCALAB Xi+是新研发出的一款基于ESCALAB 250Xi产品后，具有可扩展功能、多种分析技术集成化的测试手段。该产品通过无与伦比的灵活性、完备的专业配置选项、直观的软件操作以及硬件配置，带给用户的是领先的的实验结果和生产力。强大的Avantage数据系统提供系统控制、数据采集、数据处理与系统运行报告等一站式服务。
入围优秀新品获奖理由：
先进的成像探测器设计，用于定量XPI成像： 电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成像的需求。空间连续的电阻阳极探测器创新技术，一方面使得XPI成像分辨率达1um，另一方面使得XPI成像得到数据无探测器背底特征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。 可选配的EDS探测器，实现体相分析技术和表面分析技术的结合： 新设计Xi+系统可选配EDS探测器与俄歇电子枪结合，可实现样品纳米尺度的体相微区元素成分分析，EDS可探测微米深度的元素组成，可以用于材料深度剖析前的元素组成预判。体相敏感的EDS技术和XPS表面分析技术的结合可更直观地用于研究合金等的表面偏析行为。 标配的反射电子能量损失谱REELS分析技术，用于弥补UPS能带分析和XPS元素分析： REELS可以探测材料的能级和带隙结果，并可用于材料中H元素含量的定量。与UPS技术结合可了解完整的价带导带信息，并弥补XPS、AES等技术不能检测H元素含量的缺陷 发展的系列基于Xi+的成熟准原位样品处理、制备、反应系统: 基于Xi+，设计的一系列成熟的ALD、MBE样品制备系统，高温高压催化还原反应系统和样品退火系统，满足不同的科研项目需求。

配备为提供最佳 XPS 性能而设计的单色化X射线源，确保ESCALAB Xi+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针有最高的样品测试通量。多技术能力、一系列灵活的样品制备室及样品处理设备，使该仪器在解决任何表面分析问题时都能游刃有余。利用先进的 Avantage 数据采集和处理系统，从测试数据中挖掘尽可能多的信息。

ESCALAB Xi+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针的特点：

• 高灵敏度能谱

• 小面积 XPS

• 深度剖析能力

• 角分辨 XPS

• 标配离子散射能谱 (ISS)功能

• 标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能

• 标配“样品预处理”室

• 多技术分析的多功能性

• 多个样品制备技术可选

• 全自动无人值守式分析

• 多样品分析

单色化X射线源

• 双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶

• 样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm

透镜、分析仪和检测器

• 透镜/分析器/检测器一体化使 ESCALAB 250Xi XPS 能谱仪同时具备成像和小面积 XPS 分析能力的独特性

• 两种类型的检测器可以确保为每种分析提供最佳检测——二维检测器用于成像，基于通道电子倍增器的检测器则用于需要检测高计数率的能谱分析

• 透镜配备了两种电脑控制的光阑组件，一套视场光阑用于控制低至 <20 μm 的分析区域，适用于小面积分析；另一套光阑则用于控制透镜的接收角，对于高质量角分辨 XPS 至关重要

• 180° 半球型能量分析器

深度剖析

• 数控式 EX06 离子枪是一款高性能的离子源，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能

• 提供方位角样品旋转

多技术能力

• 可配备其他分析技术而不降低 XPS 检测性能

• 使用 EX06 离子枪时透镜组和能量分析仪的电源可反向（确保离子散射能谱 (ISS) 可用）

• 电子枪可加压升至 1000 V，为 REELS 提供优异的离子源

技术选项

• 非单色化 X 射线光源的XPS分析

• AES（俄歇电子能谱）

• UPS（紫外光电子能谱）

真空系统

• 5 mm 厚高导磁金属分析室，最大程度提高磁屏蔽效率

• 与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

样品制备

• 系统标配一体化的快速进样室和制备室

• 额外的制备室可选

Avantage 数据系统

• 集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成

• 允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）

• 管理从样品载入到报告导出的整个分析过程