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核心参数
产地类别： 进口
能量分辨率： --
峰背比： --
最大计数率： --
探测器面积： --
软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
产品规格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
分光谱仪艙安装位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）
FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）
分光谱仪尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 从接口包括CCD的距离
分光谱仪重量 25kg
适用机型
EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
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