核心参数
仪器种类: 场发射
产品概述:
Vion PFIB 是一款具有高精度、高速度切割和铣蚀能力的仪器。 其具有选择性铣蚀所关注区域的能力。 此外,PFIB 可以选择性沉积带图案的导体和绝缘体。 高速铣蚀和精密控制的结合可确保该系统以多种方法应用于集成电路的制造,如:
* 凸起物、焊线、TSV 和晶片堆叠失效分析
* 手术刀般移除封装和材料,实现嵌入芯片块的失效分析和故障隔离
* 适用于封装级流程监控和开发
* 封装部件和 MEMS 设备的缺陷分析
主要优点:
* 借助较传统镓离子 FIB 快 20 倍的铣蚀速度提高生产效率
* 快速精确的横截面操作可揭示缺陷和表面下方特征
* 铣蚀和成像射束电流变化范围宽广(从数 pA 至 1 μA 以上)
* 使用沉积化学来保护表面特征
* 可选的电荷中和器功能可实现对带电结构进行切片
* 可选的背面硅使用、专利同轴气体输送喷嘴
* 通用硬件和软件架构以及其他 FEI FIB、SEM 和 DualBeam 仪器
赛默飞透射电镜Vion Plasma的工作原理介绍
透射电镜Vion Plasma的使用方法?
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企业名称
上海禹重实业有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
12000000202111220133
成立日期
2013-10-22
注册资本
3000
经营范围
许可项目:货物进出口,技术进出口,进出口代理,(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经验活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准) 一般项目:技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让、技术交流、技术推广;实验分析仪器销售;试验机销售;环境监测专用仪器仪表销售; 工业自动控制系统装置销售;仪器仪表销售;智能仪器仪表销售;电工仪器仪表销售;电工器材销售;机械电气设备销售;机械零件、零部件销售; 民用航空材料销售;金属工具销售;专用化学产品销售(不含危险化学品);化工产品销售(不含许可类化工产品);第二类医疗器械销售; 电子产品销售;办公设备销售;电子、机械设备维护(不含特种设备);机械设备租赁;软件开发。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
上海禹重实业有限公司
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上海市闵行区春申路2525号
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