氮化硅薄膜膜厚标准物质
标准物质编号:GBW13963
中文名称:氮化硅薄膜膜厚标准物质
英文名称:Thin Film Thickness CRM of Si/Si3N4
应用领域:光学特性
标准物质用途:校准仪器和装置;评价方法;工作标准;质量保证/质量控制;其他
保存条件: 真空包装,阴凉、干燥处存放
使用注意事项:样品开封使用应保证取样工具等洁净,避免样品沾污。
量值信息:
| 标准值 | 不确定度 | 单位 |
氮化硅薄膜膜厚 | 151.8 | 1.0 | nm |
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