德国Freiberg Instruments全自动晶体定向仪XRD在第三代半导体晶圆和涡轮叶片检测中的应用

锘海生物科学

2018/11/06 15:55

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Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD

德国Freiberg Instruments公司Omega/Theta 全自动晶体定向仪系列XRD产品针对半导体晶体材料和光学材料生产研发，采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向，德国博世公司的石英振荡器晶体产量因为这个设备这个技术从55%直接提升至95%。以前是德国EFG公司产品，2015年EFG公司被德国Freiberg Instruments公司收购。

Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD可集成至全自动生产线中，是全球领先的可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测、分拣设备。可测材料类型有Si、Ge、SiC、GaN、Al2O3（蓝宝石）、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体，可测整块晶体取向和摇摆曲线mapping（独家），直径最大可到590mm（可根据需求定制不同检测尺寸），检测精度高（0.003°），可快速测定摇摆曲线检测晶体质量。检测速度快（5s/试样），制样简便，可集成至全自动化生产线中，快速晶体质量检测分拣（日处理量最高可达6000片），极大程度上提高产量和质量。除此之外，公司还有针对小型试样研发测试用的桌面型DDCOM 晶体定向仪XRD和SDCOM 晶体定向仪XRD可供选择。

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DDCOM SDCOM

Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD在欧美等国家晶体生产研发巨头企业广泛使用，如德国Si Crystal公司用于SiC晶体生产研发、德国Siltronic AG用于Si、SiC晶体生产研发、英国Gooch and Housego用于光学晶体生产研发、美国IPG Photonics公司用于光学晶体生产研发、美国II-VI Advanced Materials公司用于SiC晶体生产研发、美国Crystal IS 公司用于SiC生产研发、美国Crystal Photonics公司用于光学晶体研发等、波兰热舒夫理工大学用于单晶涡轮叶片生产研发。

Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD在国内已有200多家客户，如蓝思科技用于蓝宝石晶体生产研发、四联集团用于蓝宝石晶体生产研发、协鑫集团用于蓝宝石晶体生产研发、广东惠伦晶体用于石英晶体生产研发，中电五十四所时频事业部用于石英晶体研发等。

Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD

应用实例：

1.蓝宝石摇摆曲线mapping测量：窄反射峰=表面质量好

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2.SiC摇摆曲线mapping测量：宽反射峰=晶体表面局部干扰

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硅片检测

硅片检测显示图

3.单晶涡轮叶片晶体曲线3Dmapping检测图：

α方向：

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β方向：

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γ方向：

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涡轮叶片样品检测

涡轮叶片3D模型创建

涡轮叶片3D取向绘图

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锘海光学为德国Freiberg Instruments公司晶体定向仪系列XRD全国代理，为客户提供完整全自动晶体定向仪XRD销售和技术支持服务。

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