德国Freiberg Instruments公司 X射线单晶衍射仪（XRD）

德国Freiberg Instruments公司 X射线单晶衍射仪（XRD）

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Omega/Theta X射线衍射仪 （XRD）

德国Freiberg Instruments公司Omega/Theta XRD针对半导体晶体材料和光学材料生产研发，采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向，具有全球领先的单晶X射线衍射仪（XRD）技术。德国博世(Bosch)公司的石英振荡器晶体产量因为这个设备这个技术从55%直接提升至95%。Omega/Theta X射线衍射仪 （XRD）以前是德国EFG公司的技术，2015年EFG公司被德国Freiberg Instruments公司收购。

Omega/Theta X射线衍射仪 （XRD）设备可集成至全自动生产线中，是全球领先的可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。可测材料类型有Si、Ge、SiC、Al2O3（蓝宝石）、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体，可测整块晶体取向mapping（独家），直径最大可到590mm（可根据需求定制更大检测尺寸），检测精度高（0.003°），可测摇摆曲线检测晶体质量。检测速度快（5s/试样），制样简便，可集成至全自动化生产线中，快速晶体质量检测分拣（日处理量最高可达5000片），极大程度上提高产量和质量。除此之外，德国Freiberg Instruments公司还有针对小型试样研发测试用的桌面型DDCOM XRD和SDCOM XRD可供选择。

                  DDCOM XRD                                                 SDCOM XRD

德国Freiberg Instruments公司Omega/Theta X射线衍射仪系列 （XRD）在欧美等国家晶体生产研发巨头企业广泛使用，如美国IPG Photonics公司用于光学晶体生产研发、美国II-VI Advanced Materials公司用于SiC晶体生产研发、美国Crystal IS 公司用于SiC生产研发、德国Si Crystal公司用于SiC晶体生产研发等、波兰热舒夫理工大学用于单晶涡轮叶片生产研发。

德国Freiberg Instruments公司Omega/Theta X射线衍射仪系列 （XRD）在国内已有200多家客户，如蓝思科技用于蓝宝石晶体生产研发、四联集团用于蓝宝石晶体生产研发、协鑫集团用于蓝宝石晶体生产研发、广东惠伦晶体用于石英晶体生产研发，中电五十四所时频事业部用于石英晶体研发等。

应用实例：

1.蓝宝石摇摆曲线测量：窄反射峰=表面质量好

2.SiC摇摆曲线测量：宽反射峰=晶体表面局部干扰

3.单晶涡轮叶片检测图：

α方向：

β方向：

γ方向：

锘海半导体仪器设备（中国）股份有限公司（http://nuohaisemiconductor.com/）为德国Freiberg Instruments公司 X射线单晶衍射仪（XRD）系列在中国的总代理，为客户提供完整X射线单晶衍射仪（XRD）市场、销售、安装和技术支持服务。

了解更多德国Freiberg Instruments公司 X射线单晶衍射仪（XRD）信息，请联系锘海半导体市场部。并诚邀您参加第20届中国国际光电博览会(CIOE) 到锘海光学（半导体） 2A82 展台参观（2018年9月5日-9月8日，深圳会展中心）

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