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反射光谱法计算薄膜厚度
2018/05/28 10:31
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方案摘要：
产品配置单：
Thermo E 300 紫外可见光分光光度计
型号： Evolution 300
产地： 美国
品牌： 赛默飞
¥3万 - 5万
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方案详情：
简介，背景，实验方法都在表格里，具体详细内容可以看表格。
简介
薄膜的反射扫描会生成干涉条纹。各波长范围内的条 纹数量取决于反射角、薄膜厚度和薄膜折射率。如折 射率已知，则在一个折射角采集的数据足以计算薄膜 厚度；如折射率未知，在两个折射角所采集的数据可 用于计算折射率和薄膜厚度。所有计算均在电子数据 表格中自动完成，以便技术人员操作。采用分光光度 计得到的结果与折光仪测得的结果良好吻合。
背景
半导体制造行业常要求在硅片表面沉积光阻材料。旋 涂或气相沉积的膜厚精度对于光子器件（包括光刻 胶、导电聚合物膜、导电氧化物薄膜和太阳能电池） 的研究员和制造商至关重要。薄膜性能和成本在很大 程度上取决于薄膜厚度，因此频繁测量对生产开发和 质控至关重要。Thermo Scientific 紫外-可见分光光度
计附件提供轻松快速的无损检测方法进行这些测量。
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