核心参数
仪器结构: 双光束
接收器类: 光电二极管阵列
波长范围: 紫外可见近红外(190-2600nm)
自动程度: 自动波长
波长范围: 190nm 至 1100nm
光谱带宽: 0.5,1.0,1.5,2.0,4.0nm
波长准确度: ±0.15 nm
杂散光(S.L.): < 1%T ( 198nm) < 0.010%T( 220nm) < 0.005%T( 340nm)
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反射光谱法计算薄膜厚度
薄膜的反射扫描会生成干涉条纹。各波长范围内的条 纹数量取决于反射角、薄膜厚度和薄膜折射率。如折 射率已知,则在一个折射角采集的数据足以计算薄膜 厚度;如折射率未知,在两个折射角所采集的数据可 用于计算折射率和薄膜厚度。所有计算均在电子数据 表格中自动完成,以便技术人员操作。采用分光光度 计得到的结果与折光仪测得的结果良好吻合。 半导体制造行业常要求在硅片表面沉积光阻材料。旋 涂或气相沉积的膜厚精度对于光子器件(包括光刻 胶、导电聚合物膜、导电氧化物薄膜和太阳能电池) 的研究员和制造商至关重要。薄膜性能和成本在很大 程度上取决于薄膜厚度,因此频繁测量对生产开发和 质控至关重要。Thermo Scienti?c 紫外-可见分光光度 计附件提供轻松快速的无损检测方法进行这些测量。 采用 Thermo Scienti?c Evolution® 300 紫外-可见分光 光度计搭配VeeMAX紫外可见可变角镜面反射附件进 行实验。
半导体
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