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p偏振MAIRS–多角度入射角分辨光谱
2023/07/06 11:49
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方案摘要：
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本文介绍了偏振调制红外反射吸收光谱（PM-IRRAS）的概况、系统以及薄膜测量的样品数据。利用薄膜的先进功能，如电、光学和/或机械性能的几种工业产品现在变得越来越流行，薄膜的制造和评估技术也得到了稳步改进。众所周知，红外光谱是对这些类型的薄膜最有用的评估方法之一，它提供了关于分子结构和取向以及光学厚度和电学性质的信息。红外反射吸收光谱（IRRAS）可用于厚度在几十埃范围内的金属衬底上的非常薄的薄膜的分子结构分析。然而，由于一些需要更高性能和更高功能的新型器件的开发，人们越来越需要更高灵敏度的测量和薄膜生成的过程监控。为了满足这一要求，JASCO开发了一种使用偏振调制红外反射吸收光谱（PM-IRRAS）的真空室内薄膜生成监测系统，其灵敏度高于普通IRRAS。
PM-IRRAS原理：IRRAS使用平行于入射平面的p偏振光以高灵敏度提供金属衬底上薄膜的IR光谱测量。p偏振光产生具有固定振动的电场，这增加了灵敏度（见图1）；这允许在埃水平上测量膜厚度。然而，通过IRRAS获得的吸收峰通常非常小，并且可能通常需要长时间的积累时间。此外，必须测量参考基质和样品基质。由于这些原因，光谱可能受到大气中H2O和CO2吸收的显著影响。
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