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其它参数
The POLOS® SPIN150x 是一种多功能、高质量 的基材旋涂仪, 由 NPP 制成，它专为研发和小批 量生产而设计。 用于手动或自动（可选）化学品 分配的桌面版本。
适用于:
• 涂层
• 清洗冲洗/干燥
• 显影
• 蚀刻
• PDMI
• 和其他工艺。
硬件规格:
• 液体过滤捕集器
• 独特的外壳和排水口设计，可在现场切换台式和内嵌式型号
• 用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架
• 盖锁和真空传感器确保用户安全
• 大型（可拆卸）触摸屏显示屏
• USB端口，用于在USB驱动器上存储配方和进行软件更新
驱动装置规格:
• 间接无刷驱动装置
• 最高 12.000 RPM（取决于基体/卡盘）
• 高加速度和高精度
• 加速/减速 1-30.000 RPM
• CW 和 CCW 以及Puddle 选项
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