光纤光谱仪测膜厚应用分享

如海光电

2023/11/04 16:38

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薄膜科学上的解释为：由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的2维材料。例如光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被广泛用于半导体、电子电器，机械，印刷等行业。

在薄膜的所有性能指标中，薄膜的厚度是衡量其质量的主要指标。薄膜厚度是否达到标准对薄膜表面特性、光学特性、阻隔性以及拉伸强度等都有很大影响，将薄膜厚度偏差控制在生产要求范围以内是保证薄膜其它特性的重要前提条件。随着薄膜的种类越来越多，厚度范围越来越广。有厚度为几十微米以下的小厚度薄膜，也有厚度为几百到几千微米的大厚度薄膜。现有的薄膜厚度测量技术中，光纤光谱仪因其快速、无损、原位测量、高精度的特点，在半导体材料、高分子材料、光伏、液晶面板和光学行业以及科研高校都得到广泛的应用。

如海光电针对薄膜检测提供核心光谱仪和光源模组。光谱仪具备强紫外响应、高信噪比、宽动态范围、宽波段、稳定传输等特性，可被用于反射光谱测膜厚、透射光谱测膜厚等场景下的光谱探测。复合光源具有宽波段范围、长寿命、强稳定性、高性价比、强度可调节等特点，被广泛用于测试分析。

光纤光谱仪测膜厚的优势与特点

采样速度快，适用于工业在线实时测量。

非接触式光学无损测量。

灵活、体积小，重量轻，USB连接方式即插即用。

可根据需求，定制不同波段的光谱仪。

可测多层膜厚

配置推荐

反射光谱测量	透射光谱测量	设备
190-1100nm(紫外-可见检测波段) 900-1700nm（近红外检测波段）		光谱仪如海DQPro/NIRPro高灵敏光纤光谱仪,可根据客户样品特性、膜层厚度定制波长范围
		光源 DH2000氘钨灯光源（钨灯强度可调）
		光纤反射光纤/单芯光纤
		附件 Stage-C反射支架/Stage-RT透反射支架
		附件反射标准白板

技术参数

产品型号	DQPro	NIRPro
光学参数
光纤接口	Key-SMA905
狭缝	10 μm、25 μm、50 μm、100 μm、200 μm（可根据客户要求定制）
波长范围	190-1100nm（支持定制）	900-1700nm（支持定制）
分辨率	2nm@25slit（支持定制）	4nm@25slit（支持定制）
检测器	深制冷检测器
检测器像元数	1024×58 pixels	512 pixels
杂散光	~5‰	~5‰
功能参数
AD采样	16 bit
数据接口	USB2.0、RS232
扩展功能接口	24PIN
采集模式	单次、连续、软件触发、同步外触发、异步复位外触发
检测器积分时间	8 ms-30 min	100us-5min
CCD读出噪声	≦3counts	≦8counts
动态范围	22000：1	15000:1
信噪比	1000：1	2000:1
响应线性度	≥98%
其他参数
重量	1.24 kg	1.25 kg
尺寸	181111.555 mm	18911554.5 mm
工作温度	0℃~40℃
工作湿度	20%-85%