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核心参数
仪器种类： 在线式
产地类别： 进口
检测气体： NH3,HCL,HF等
响应时间： 5s
测量精度： 0.01ppb
测量量程： 0.1ppb~10000ppm
猎户座3100系统：完善的空气分子污染物（AMC）监测
实时监测空气分子污染（AMC ）对于半导体生产过程极为重要。
快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸类等浓度测量，当这些气体与化学放大光刻胶反生反应 时，将深深的影响半导体器件质量。
传统古老的方法多采用间接测量分析方法。包括撞击滤尘器、离子色谱、化学荧光法，这些方法分析速度太慢，操作过程太复杂，昂贵并且测量结果不精确。
CEAS （腔增强吸收光谱）---原理
基于CEAS（腔增强吸收光谱）技术的仪器原理图，使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测量，测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成，激光束经过固态校准器（FSR=2.00GHz）时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度，忽略了原本照射到左侧测量单元腔镜外的光束。
EP增强型版本集成了压力传感器和内部温度控制器，具有超稳定性测量腔室，防止温度漂移、压力变化等造成的误差。
CEAS（腔增强吸收光谱）相比于第一代的CRDS（腔衰荡光谱）技术，有许多已被证明的优势。简而言之，激光束不需要 共振耦合进入测量腔室（例如光束不需要严格对准）。DUKE分析仪器和系统具有天生安装简单、机械牢固、防护结实等特点。
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企业名称
北京杜克泰克科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110108055585878W
成立日期
2012-10-22
注册资本
500万元
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术服务;计算机技术培训;通用设备修理;销售开发后的产品、仪器仪表、机械设备、计算机、软件及辅助设备、医疗器械I类、医疗器械II类、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品);仪器仪表制造(限分支机构经营);租赁机械设备(不含汽车租赁);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售第三类医疗器械。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;销售第三类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
杜克泰克
公司地址
北京市海淀区安宁庄东路8号330室
客服电话
公司名称： 杜克泰克
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