2015/12/14 14:23
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方案摘要:
产品配置单:
库赛姆(COXEM)EM-30+ 台式扫描电镜
型号: EM-30 +
产地: 韩国
品牌: 库赛姆
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方案详情:
COXEM台式扫描电镜(EM30)具有业内最高的分辨率(8nm)及连续可调的加速电压(1-30KV)——加速电压越高,电子束波长越短,分辨率越高。如图所示为一种光纤样品在不同放大倍数下的二次电子图像。从图1中我们能够清晰看到,针尖的形状、尺寸;图2为5万倍下对图1针尖的局部放大,能够清楚看到其上金颗粒的分布状态及形状、尺寸等;图3(样品A)、图4(样品B)依次为10万倍下不同光纤样品上的金颗粒分布,从中可以看出样品A上金颗粒形状基本类似,为近圆形且分布较为均匀,但是颗粒尺寸偏差较大,其分布为60nm-200nm;样品B上的金颗粒整体尺寸相较样品A要小的多,大约为30nm-200nm,且形状不是十分规则,尺寸差较大。COXEM台式扫描电镜可以轻易辨别出此类样品的形貌差异,从而作为改善工艺的参考依据。
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