核心参数
仪器种类: 台式/桌面型
电子枪种类: 六硼化铈
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 5nm@30kV SE
放大倍数: x15~x150,000
加速电压: 1kV-30kV (1kV步进)
背散射电子图像分辨率: 5nm@30kV SE
最大样品尺寸: Up to 70mm(D) , Up to 45mm(H)
样品室可拓展接口数量: 6
样品台: X, Y, T 自动 X = 35mm Y = 35mm Z = 50mm (手动) T = 0 ~ 45° R = 360°
检测器系统: SE 探测器,BSE 探测器
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