产品特点
采用数字微镜 (DMD) 的无掩膜扫描式光刻机,365nm波长
直接从数字图形生成光刻图案,免去制作掩模板的中间过程,支持直接读取GDSII和BMP文件
全自动化的对焦和套刻,易于使用
晶圆连续运动配合DMD动态曝光,无拼接问题。全幅面绝对定位精度0.1um
套刻精度: 0.2um
500 nm / 1 um分辨率,100mm x 100mm最大幅面(4~6寸晶圆),满幅面曝光时间5~30分钟
500um最小线宽
可灰度曝光(128阶)
尺寸小巧,可配合专用循环装置产生内部洁净空间
更多
光纤为何会损伤?浅谈一下光纤损伤阈值 - 筱晓小课堂
厂商
2024.06.03
半空间对穿反射式碳排放监测系统 - 筱晓小课堂
厂商
2024.05.28
紧凑型波长计!高精度、易操作、体积小!- 筱晓光子新品速递⑮
新品
2024.05.17
衍射光学元件 DOE 介绍与分类 - 筱晓光子实验室
厂商
2024.05.10