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核心参数
组件类别： 光学元件
一, 光学/全激光测振仪 可选1000倍变焦数字显微镜
全激光测振仪，超紧凑型封装，三轴控制，实现高精确度；
可选数字显微镜，1000倍变焦，非常适合实验室和生产应用；
宽频范围 DC-/.5MHz
声学表征 / 纳米分辨率
MEMS/PMUT 设备测试和规格合约性
全激光测振仪，超紧凑型封装，三轴控制，实现高精确度；
可选数字显微镜，1000倍变焦，非常适合实验室和生产应用；
宽频范围 DC-/.5MHz
规格参数
MV-H-D 测试 | |
激光测振仪 | |
最大频率 | 2.5MHk |
速度（满刻度） | 4.5m/s |
频率准确度 | ＜ 0.1% |
典型振幅分辨率 | 0.2nm |
时间触发器 | 触发线 进/出 |
尺寸 | 暂无 |
重量 | |
操作温度 | 0-50℃ |
防护等级 | IPG5 |
电源供应 | +12V |
工作激光波长 | 1310nm |
工作激光等级 | 等级 1, ＜ 5mW |
可见光激光波长 | G50nm |
可见光激光等级 | 等级 2, ＜ 1mW |
测距 | 50mm |
数据连接 | 以太网 |
数字显微镜: 放大范围 |
50-250X |
二, 基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列
基于激光的观测系统，专门设计用于显示基于电介质/压电的高频设备的表面声波 surface acoustic wave（SAW）和体声波 Bulk Acoustic Wave（BAW），如SAW滤波器（Interdigital Transducer 叉指换能器 IDT）和薄膜体声波谐振器（FBAR）
基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列,基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列适用于不同频率下物理声波传播的分析
短时间广域观测
图像 FFT & IFFT 处理
观察示例
IDT
FBAR
参数
振动检测方法 | 基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz) |
振动观察法 | 用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动) |
观测光源 | 二极管激光器(波长:650nm典型)，照明LED |
可用物镜 | ×20、×50、×100 物镜 |
可观察到的频率 | 500MHz ～ 6GHz (Typ.) |
驱动信号输入范围*1 | 500MHz～6GHz (-120dBM～＋15dBM) *2 |
Max. 可分析区域 | 25mm × 25mm |
容许工作量 | Max. 8英寸晶圆片 |
样品台 | 电动X-Y型载物台 |
主要软件功能 | 基于采样阶段控制的预设区域扫描观测 |
2维 ⇔ 3维观察结果指示(in Movie) | |
二维FFT⇔FFT图象处理 | |
基于FFT结果的特定振动共振模式滤波 | |
面外轴倾角校正 | |
基于预设频率表的连续数据采集 | |
构造 | 主体/电气单元/信号发生器/锁相放大器/级驱动器/ PC /软件 |
*1 提供高频探测装置。(手动探测) *2 提供输入信号放大器。 | |
筱晓光子光学仪器组件MLD-101的工作原理介绍
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企业名称
筱晓（上海）光子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101163987029680
成立日期
2014-06-26
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
从事“光电、通信、机械设备、电子、计算机、计算机网络”科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务,机电设备及配件,光电设备及配件,通信设备及相关产品,仪器仪表,电子元器件,计算机、软件及辅助设备,电线电缆,五金交电,建筑材料,日用百货销售,从事货物进出口及技术进出口业务,机电设备安装、维修,计算机软件开发。[依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动]
筱晓（上海）光子技术有限公司
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上海市青浦区佳杰路99号长三角漕河泾绿洲智谷A5栋三楼
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