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上海依阳实业有限公司
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解决方案
测量六氟化硫气体重量和气室容积的定容法自动化解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
六氟化硫重量和容积测试摘要：在目前的六氟化硫气体精密计量中普遍采用重量法和定容法两种技术，本文分析了重量法中存在的问题以及定容法的优势，同时也指出定容法在实际应用中还存在自动化水平较低的问题。为了提高定容法精密计量过程中的自动化水平，本文提出了增加电控针阀和可编程压力控制器的解决方案，由步进电机驱动的电控针阀来精密调节气体压力，不同压力值的控制过程则由可编程压力控制器来进行控制操作，从而实现了定容法的自动化精密计量。
共1台
激光雷达中FabrY-Perot标准具的精密TEC温控解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
温度摘要：法布里-珀罗标准具作为一种具有高温度敏感性的精密干涉分光器件，在具体应用中对热稳定性具有很高的要求，如温度波动不能超过±0.01℃，为此本文提出了相应的高精度恒温控制解决方案。解决方案具体针对温度控制精度和温度均匀性控制两方面的技术要求，采用了TEC热电技术及其相应的高精度加热制冷恒温装置，采用了多个TEC热电片圆周分布结构以保证温度均匀性。此解决方案在实现高热稳定性的同时，还可以进行推广和拓展应用。
共2台
高速数控机床电主轴热补偿的TEC半导体冷却控制系统解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
位移量测量和控制摘要：电主轴Z向热变形是影响高速数控机床加工精度的主要因素，目前常用的补偿技术是流体介质形式的液冷和风冷，也出现了基于帕尔贴原理的TEC半导体冷却技术。目前TEC冷却技术在电主轴热变形补偿中存在的主要问题是无法对主轴热变形量进行直接调控，还需基于复杂模型对温度进行控制来间接实现补偿。为此本文提出了闭环控制回路的解决方案，直接以涡流位移传感器信号作为控制信号，通过TEC实时控制电主轴热变形稳定在较低水平。
共1台
超低漏率安捷伦和VAT电动可变泄漏阀的国产化替代解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
微流量调节和控制摘要：目前在国内外的超高真空控制领域普遍采用安捷伦、VAT和MDC公司的超低漏率可调泄漏阀进行超低进气流量的调节和控制，但这些进口产品存在价格昂贵和货期长问题，为此本文提出了相应的国产化替代解决方案。解决方案基于压力改变流量的原理，采用具有超低漏率的微流量阀门，通过改变进气压力来实现超高真空下的微小进气流量调节，由此直接将微流量调节技术直接升级到自动控制水平，且价格可降低到进口的一半以上。
共2台
工业PID调节器相比于可编程逻辑控制器PLC的几大优点
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
PID控制器和可编程逻辑控制器PLC针对控制领域内广泛使用的PID控制器和可编程逻辑控制器PLC，本文分析了具体应用中PID控制器的几大优点。PID调节器的优点主要体现在测控精度高、更强的控制功能、使用门槛低和操作简单、具有明了的可视化界面和节省成本。
共1台
形状记忆合金相变温度测量中的TEC帕尔贴热电装置解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
物理性质形状记忆合金（SMA）是一种先进的金属材料，其物理和机械性能本质上依赖于温度。为了快速和低成本的实现SMA相变温度和热滞后性能的测试表征，基于更灵敏的电阻温度依赖关系，本文提出了采用帕尔贴TEC加热制冷装置结合四电极电阻测量的解决方案。与传统的DSC法相变温度测试相比，这种帕尔贴形式的电阻温度法具有更高的灵敏度和快速变温速度，且被测样品装配简单，更适合MEMS的热表征，并且比DSC更具有成本优势。
共1台
半导体热工艺设备中的精密微正压控制解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
微正压检测和控制针对半导体热处理设备微环境中的微正压精密控制，本文分析了现有技术造成微正压控制不稳定的原因，提出了相应的解决方案。解决方案主要是采用绝对电容真空计替代压差计，采用真空低漏率的高速电动针阀和电动球阀替代气体质量流量计和蝶阀，采用具有分程控制和串级控制功能的真空压力器进行进出气流量的同时调节以及氧浓度和微正压的同时控制。解决方案不仅可以实现微正压准确控制，同时也可以用于真空负压的精密控制过程。
共2台
采用电动针阀和手动可变泄漏阀实现超高真空度精密控制的解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
超高真空度测量和控制超高真空度的控制普遍采用具有极小开度的可变泄漏阀对进气流量进行微小调节。目前常用的手动可变泄漏阀无法进行超高真空度的自动控制且不准确，电控可变泄漏阀尽管可以实现自动控制但价格昂贵。为了实现自动控制且降低成本，本文提出了手动可变泄漏阀与低漏率电控针阀组合的解决方案，结合真空压力PID控制器可实现超高真空度自动控制。
共1台
圆晶湿法刻蚀清洗工艺中采用耐腐蚀电动针阀的流量控制解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
晶圆湿法刻蚀清洗化学药液流量控制化学药液流量的精密控制是半导体湿法清洗工艺中的一项关键技术，流量控制要求所用调节针阀一是开度电动可调、二是具有不同的口径型号、三是高的响应速度，四是具有很好的耐腐蚀性，这些都是目前提升半导体清洗设备性能需要解决的问题。为此，本文提出了相应的解决方案，解决方案的核心是采用具有系列口径的高速和耐腐蚀的电动针阀。
共1台
调制式差示扫描量热法MTDSC中实现正弦波温度控制的解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
温度调制式差示扫描量热法——MTDSC在调制温度式差式扫描量热仪（MTDSC）中，关键技术之一是正弦波加热温度的实现，此技术是制约目前国内无法生产MTDSC量热仪的重要障碍，这主要是因为现有的PID温控技术根本无法实现不同幅值和频率正弦波这样复杂的设定值输入。本文将针对此难题提出了相应的解决方案，即采用具有外置设定点功能的特制PID控制器来实现正弦波温度控制。
共1台
高温除泡机中真空压力的可编程PID控制解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
除泡工艺中的真空压力测量和控制真空压力除泡机和除泡烤箱在电子行业的应用十分广泛，但现有除泡机存在的最大问题是选择了开关式阀门，无法实现真空和压力既准确又快速的控制。为此，本文提出了升级改造技术方案，即采用双向PID控制器和快速电动球阀开度大小的连续调节，可在各种规格尺寸的除泡机上实现真空压力的快速准确控制。
共1台
分程控制中的超高精度PID控制器及其解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
分程控制分程控制作为一种典型的复杂控制方法之一，常用于聚合反应工艺、冷热循环浴、TEC半导体温度控制、动态平衡法的真空和压力控制等领域。为快速和便捷的使用分程控制，避免采用PLC时存在的控制精度差和使用门槛高等问题，本文介绍了具有分程控制功能的超高精度VPC-2021系列PID控制器，以及使用分程控制时的参数设置、接线和具体应用。
共1台
热电化学电池性能测试中的TEC半导体可编程温度控制解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
电化学热电池性能测试电化学热电池（electrochemical thermcells）作为用于低品质热源的热电转换技术，是目前可穿戴电子产品的研究热点之一，使用中要求具有一定的温差环境。电化学热电池相应的性能测试就对温度和温差形成提出很高要求，特别是要求温度控制仪器具有高控制精度、可编程控制、周期交变控制、通讯和随机软件功能。本文介绍了新型超高精度具有多功能的PID控制仪，并详细描述了电化学热电池特性测试中的温度控制系统结构。
共1台
高精度真空度控制技术在新型低压电子束焊机中的应用
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
真空度控制新型低压电子束焊接加工技术具有凹型阴极、自聚焦和低造价的突出特点，不再需要高真空系统，也无需磁透镜和磁线圈进行电子束的聚焦和偏转，可进行微零件焊接和低熔点材料表面微结构改性。但这种新型技术对氩气工作气压的要求较高，需要在7~12Pa的低真空范围实现高精度的调节和控制。本文针对此高精度控制提出了解决方案，即在电容真空计作为传感器的基础上，采用了电动针阀和超高精度压力控制器，控制精度可达±1%。
共1台
超高精度PID控制器的特殊功能（1）——远程设定值功能及其应用方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
超高精度PID控制器的特殊功能（1）远程设定点功能是超高精度PID控制器的重要拓展功能之一，其在实际自动控制中有着广泛的应用。本文详细介绍了远程设定点的功能和操作设置过程，同时还介绍了远程设定点功能在跟踪控制、串级控制和比值控制中的具体应用。
共1台
采用压力串级控制法实现气动马达高精度调节的解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
其它气动马达作为一种将压缩空气的压力能转换为旋转机械能的装置，其运行的关键是要进行驱动气体压力的控制。本文介绍了目前气动马达压力控制装置的技术现状，特别指出了现有技术中使用电空变换器存在的不足，介绍了电空变换器的更新换代产品——电气比例阀。本文对这两种新旧技术进行了详细比较，新一代的电气比例阀技术更能满足今后气动马达对小型化、集成化、智能化、精细化、高寿命和高可靠性等方面的需求。
共1台
使用TEC半导体制冷器实现各种精度和功率的可编程温度控制解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
特性针对目前TEC半导体制冷器温控装置对高精度、模块化、可编程和远程控制等方面的技术需求，本文提出了一种高性价比的解决方案。解决方案的具体内容是采用模块式结构，以24位AD和16位DA超高精度PID控制器作为基础单元，采用分立模块式电源驱动器。此解决方案可根据不同应用场景选择不同功率的电源驱动器，配合带有通讯功能的PID控制器可实现灵活的组合和应用，并配合随机软件可以方便快捷的进行可编程温度控制。
共1台
具有备份传感器安全功能的超高精度PID调节器解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
功能性测试为了保证科研生产中的安全运行和控制，针对一些对可靠性、安全性和产品价值要求较高的控制对象，往往要求传感器具有冗余设计。本文介绍了VPC 2021-1系列多功能超高精度PID控制器，主要介绍了此控制器的双传感器冗余功能及其使用方法。
共1台
微焊接中真空压力精密控制的解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
其它本文针对微激光束焊接中真空控制系统的压力调节，介绍了相应的解决方案。具体实施方案是配备不同量程的真空计、进气电动针阀、排气电动球阀和双通道高精度PID控制器，并采用上游和下游控制模式可实现全量程范围内的气压调节和恒定控制。此解决方案可在全量程范围内任意设定点的真空度恒定控制达到波动率小于±1%。
共1台
采用电气比例阀串级控制法实现化学机械抛光（CMP）的超高精密压力控制解决方案
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
其它为大幅度提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性，在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上，本文提出了升级改造方案，即采用串级控制法（双回路PID控制，也称级联控制），通过在现有电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器，可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级，从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。
共1台
PVT法碳化硅SIC晶体生长工艺高精度压力控制解决方案及其配套装置的国产化替代
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
其它本文针对目前PVT法SiC单晶生长过程中真空压力控制存在的问题，进行了详细的技术分析，提出了相应的解放方案。解决方案的核心方法是采用上游和下游同时控制方式来大幅提高全压力范围内的控制精度和稳定性，关键装置是低漏率和高响应速度的电动针阀、电动球阀和超高精度的工业用PID控制器。通过此解决方案可实现对相应进口产品的替代。
共1台
三种典型电气比例阀压力控制精度的对比考核试验
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
机械性能为实现0.1%超高精度的压力控制，需要选择合适的电气比例阀。本文介绍了三种典型电气比例阀的控制精度（线性度和稳定性）考核试验和结果，以从中确定合适性价比的电气比例阀来满足超高精度压力控制要求。
共1台
彻底讲清电气比例阀和压力传感器测控精度的基本概念及其使用方法
应用领域
电子/电气检测样品
检测项目
基本概念及其使用方法本文针对真空压力控制过程中用到各种真空压力传感器和电气比例阀，详细解释了线性度、迟滞、重复性和灵敏度等有关测控精度的基本概念，并介绍了如何有效正确使用这些精度指标。
共1台
工业应用中0.1%超高精度PID控制器的实现及其关键指标分析
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
功能性测试本文主要针对在工业应用中使用的集成式PID控制器仪表，从工程实际应用角度，介绍实现优于0.1%的超高精度控制以及所涉及的几项关键技术指标，以此来帮助超高精度PID控制器的选型和工业应用中实现超高精度的工艺过程控制。
共1台
CVD和PECVD管式炉真空控制系统的升级改造
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
功能性测试本文介绍了根据客户要求对CVD管式炉真空控制系统进行升级改造的过程，分析了客户用CVD管式炉真空控制系统中存在的问题，这些问题在目前国产CVD和PECVD管式炉中普遍存在。本文还详细介绍了改造后的真空压力控制系统的工作原理、结构和相关部件参数等详细内容，改造后的真空压力控制精度得到大幅度提高。
共2台
CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
其它对标美国MKS公司的下游排气高速节流阀系列产品，本文介绍了相应的国产化替代方案和产品。基于CVD工艺，技术方案将下游流量调节阀变为了下游压力调节阀，并采用分体结构，将调压阀与PID控制器分离，调压阀具备大口径和高速功能，电子气控驱动调压阀快速动作，PID控制器接收真空计信号和控制气控驱动阀，可实现阀门全开时间小于0.1秒。
共2台
采用真空压力精密控制的吸附夹具实现超低损耗单模光纤熔融拉锥制作
应用领域
电子/电气检测样品
电线电缆/低压电器检测项目
真空压力精密控制熔融法光纤拉锥系统中，极小损耗的光纤耦合对应于一个吸附固定光纤的最佳真空度，由此需要对吸附真空度进行精密控制，并找出此最佳真空度值。本文针对稳定批产制作极小损耗的光纤拉锥系统，提出了真空系统改进方案，由此可实现真空度的精密控制。
共2台
显微镜用气密真空冷热台的真空度精密控制
应用领域
电子/电气检测样品
电子元器件产品检测项目
机械性能针对气密真空冷热台目前存在的真空度控制精度差和配套控制系统价格昂贵的问题，本文介绍采用国产产品的解决方案，介绍了采用数控针阀进行上游和下游双向控制模式的详细实施过程。此方案已经得到了应用和验证，可实现宽范围内的真空度精密控制，真空度波动可控制在±1%以内，整个控制系统具有很高的性价比。
共2台
采用瞬态平面热源法测量4H碳化硅晶片、紫铜和黄铜薄片的导热系数
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
物理性质本文针对新一代高导热半导体材料4H碳化硅晶片，介绍了采用瞬态平面热源法（HOT DISK法）进行室温导热系数测试的整个过程和结果。为了保证测量的准确性，采用同样是高导热材料并具有公认导热系数的紫铜和黄铜薄片对测试方法进行了考核验证，证明了高导热碳化硅晶片的导热系数最终测试结果具有较可靠的参考价值。
共3台
步进电机驱动的数字针阀和电动球阀在MOCVD工艺真空压力精密控制中的应用
应用领域
电子/电气检测样品
其他检测项目
功能性测试针对目前MOCVD设备和工艺中真空压力控制方面存在的问题，如多数设备仅能使用下游控制模式、节流阀响应速度不够、节流阀耐腐蚀问题和压力控制器采集精度不高，本文提出了相应的解决方案，以进行MOCVD设备的改进和提高工艺和产品质量。
共2台
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