HMDS真空烘箱在半导体工艺中的解决方案

什么是防爆真空烘箱呢？

什么是防爆真空烘箱 环竞防爆真空外壳采用冷轧钢板喷塑，内胆均采用304不锈钢，其四周用型钢加 固保证其耐压性，箱门为方型双层防弹玻璃观察窗，门封条采用耐高温橡胶条， 容易拆装更换，密封性极好。 夹层采用超细玻璃棉加厚填充，防温性好，加热管置于箱体两侧和底部，加热均 匀，控制面板置于箱体一侧，装有温控仪、真空表及本质安全型电源开关。 电磁阀耐高温腐蚀，压力管路阀门及附件均为不锈钢材质。真空表采用电接点不 锈钢压力表，其上下限控制接点由本安型固态继电器控制，绝对不会产生火花， 控压灵敏精确。 开机时打开电源开关，设定温度及压力，真空烘箱就可长期自动恒定在用户所需 温度及压力点上，长期稳定运行无人值守。 温控仪采用微电脑智能温控仪，具有测温设定数字显示，清晰醒目，还具有延时 功率抑制和PID自整定及超温报警自动切断电源功能，控温精度高，运行稳定可靠。 另外真空烘箱运行采用，先抽真空当压力达到设定真空度后再加热的方法，其优点防止加热箱内空气膨胀，也可以在抽完真空后向箱内充入惰性气体，爆破箱门防 止热空气进入压力表保护电磁阀及真空泵，确保安全，减少故障。

电热恒温鼓风干燥箱和恒温箱二种构造和运用办法

电热恒温鼓风干燥箱和恒温箱二种构造和运用办法 电热恒温鼓风干燥箱用来物件的干燥和干热灭鼠，恒温箱用来微生物和生物资料的培养。 这两种仪器的构造和运用办法类似，干燥箱的运用量度范畴为50~250℃，鼓风式电热以升温。恒温箱的最高任务量度为60℃。 　　 1．运用办法 　　 (1)将温度表拔出座内正在箱顶放气调理器中部。 　 (2)把电源插销拔出电源插座。 (3)将电热丝分批扫尾转到1或者2地位上视所需量度而定，这时可封闭吹风机驱使暖气氛对于流。电热丝分批扫尾封闭后，白色批示灯亮。 　　 (4)留意视察温度表。当温度表量度将要到达需求量度时，调理主动控温按钮，使绿色批示灯正好天亮，非常钟后再视察温度表和批示灯，假如温度表上所指量度超越需求，而白色批示灯仍亮，则将主动控温按钮略向反时针位置缭绕，直调 到量度恒定正在请求的量度上，批示灯轮流显现白色和绿色为止。主动恒温器按钮正在箱内反面左上方。它的刻度板没有能做为量度规范批示，只能做为调理用的标志。 　 (5)正在恒温进程中，如没有需求三组电热丝同声发烧时，可仅封闭一组电热丝。 封闭组数越多，量度下降越快。 　 (6)任务定然工夫后，可封闭顶板地方的放气调理器将水分排出，也能够封闭吹风机。 　 (7)运用终了后将电热丝分批电门全副开放，并将主动恒温器的按钮沿反时针位置旋至零位。 　　 (8)将电源插销拔下。 　

真空干燥箱的量具读数与真空室里的玻棒温度表读数发生差别的缘由

真空干燥箱的量具读数与真空室里的玻棒温度表读数发生差别的缘由 正常的电热真空干燥箱都采纳先加热真空室壁面、再由壁面临作件进行辐 照加热的形式。正在这种形式下，控温量具的温度传感器能够安排正在真空露 天壁。传感器能够同声承受对于流、传播、和辐照热。而在于真空室里的玻璃 棒温度表只能承受辐照热，更因为玻璃棒黑度使不得够到达1，相等一全体辐照 热被折光了，因而玻璃棒温度表体现的温度值就确定低于量具的温度读数。正常 讲，200℃工况时量具的温度读数与玻璃棒温度表的读数两者相差30℃以内是畸 形的。 　　假如控温量具的温度传感器安排正在真空室内，玻璃棒温度表的温度值与量具 的温度读数之间的差别能够恰当减少，但使不得够消弭，而真空室的密封牢靠性增 多了一度能够不牢靠环节。假如从操作适用立场思忖不指望看到某个差别，能够采 纳控温量具特部分显现改正性能处理。

区分电热恒温鼓风干燥箱的品质是非

区分电热恒温鼓风干燥箱的品质是非 　　从构造上综合，正常的电热恒温鼓风干燥箱壳子都是采纳热轧誊写钢版打 造，然而从薄厚上将，差异却很大。因为真空干燥箱外面的真空条件，为预防 空气压压坏箱内，其壳子薄厚要较鼓风干燥箱大些许，正常是取舍誊写钢版越 厚品质越好，运用寿数也越长。 为便于视察，正在干燥箱的箱门都设有玻璃窗， 正常有钢化玻璃和镶嵌门上的一般玻璃。 　　眼前国际干燥箱的保温材料主要是以纤维棉为主，多数采纳聚氨酯，上面谈 谈两种材料的相反特性。从保温成效来讲，聚氨酯的耐温与绝热成效要好于纤维 棉，正常聚氨酯能够使箱内内的高温正在大多少个时辰内维持稳固，不值一提的 是，聚氨酯的高效绝热功能，可无效地预防箱内外温渡过高热伤操纵员。纤维棉 材料的干燥箱正在高温时，只能靠温度控制器不停的控制与调理，维持箱体温度 的稳固，那样大大增多了风机与控制器的任务强度，从而升高了干燥箱的运用寿 数。再过去期保护来讲，因为聚氨酯是整个注塑到箱内内的，前期培修时尤其烦 琐，培修前需求将聚氨酯全副掏进去，交好后再注塑出来。而纤维棉决不会这样 费事，操作容易。 最初从市面上讲，纤维棉的价钱无比廉价，且可满意大全体的 保温请求，使用宽泛，咱们提议：纤维棉越细，薄厚越大，保温品质越高。干燥 箱的密封正常都是采纳抗老化的硅橡胶，密封成效很好。正在重复加热功能上， 风机的取舍至关主要，主要有外来和出口两种风机。