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核心参数
仪器种类： 真空烘箱
产地类别： 国产
温度范围： 室温+10~250℃
温度波动： ±0.5℃
外形尺寸： 以设备为准
内胆尺寸： 450*450*450
内胆材质： 不锈钢
加热方式： 电热管加热
400-860-5168转3336
1)本设备由3 个独立真空室、温度控制系统、真空控制系统，PLC 控制系统及安全保护系统等组成。控制柜及工作三色灯设计与设备左侧，控制柜采用独立式可移动。
2） 箱内放置物料的托架采用导轨抽拉方式，并按照用户12 寸及8 寸两种规格的晶圆产品做好工装位。
3 温度控制系统："富士"品牌数字显示控制器，真空控制系统：PLC 控制系统通过“威纶通”品牌触摸屏控制器和“三菱”品牌 PLC 实现设备烘干工艺流程编程。
安全保护系统：1)超温保护 2)过电流保护 3） 欠相保护 4)接地保护主要技术参数：
一. 结构
工作室尺寸： | 宽 500mm 深 450mm 高 250mm ；3 个腔体； | |
2 | 外形尺寸： | 约 800 宽×深 750×1770 高 仅供参考 |
3 | 保温层厚度： | 70mm； |
4 | 支撑脚； | 120mm 带滚轮 |
5 | 加热器位置： | 腔体外壁四周； |
6 | 抽气口位置： | 3 个腔体独立抽气口抽真空，分别由3 个气动阀+3个微调抽真空速率的针阀控制； |
8 | 开门方式： | 3 个自上往下开门。 |
9 | 控制箱位置： | 左侧；可移动式挂壁 |
10 | 硅橡胶耐高温密封圈； | 定制 |
11 | 3 套数字式压力传感器； | 触摸屏上集中显示 3 个腔体压力； |
12 | 报警器 | 声光报警 |
13 | 氮气阀 | 3 个电磁阀加 3 个调节泄压速率的针阀 |
14 | 加热原理 | 三个腔体独立加热 |
15 | 电源 | 380V50HZ7KW |
17 | 温度显示误差 | 设定值和稳定后表显值≤±1℃ |
18 | 保温性能 | 外壁温度不超过 45 度 |
二. 主要性能
1 | 工作温度范围： | 室温+10℃~100℃； |
2 | 仪表精度： | ±0.1℃； |
3 | 温度波动度： | ±1℃； |
4 | 升温时间： | ≤45 分钟（空箱，25℃~100℃）； |
5 | 控温方式： | PID 调节； |
6 | 真空度： | ≤500Pa |
三. 保安装置
1 | 空气开关（防止过流和短路） |
2 | 过流保护（防止电流过高） |
3 | 超温保护（防止工作室温度过高，保护产品），超温报警，温度传感器每个腔体壹套。 |
四. 配件及材料
1 | 内胆材料： | 3mmSUS304 不锈钢板； |
2 | 外壳材料： | 1.5 mm,冷轧钢板，防锈处理后烤漆； |
3 | 保温材料： | 硅酸铝纤维； |
4 | 加热器： | 不锈钢加热管； |
5 | 温控仪： | 数显温控仪；“富士”品牌 |
7 | 开关： | 正泰； |
8 | 气动阀： | 真空阀 |
9 | 控制器： | 三菱带以太网通讯模块 |
10 | 彩色触摸屏 | 7 寸彩色触摸屏,台湾“维纶”品牌 |
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