普发真空氢氦质谱检漏仪ASM 390

智能手机、平板电脑、游戏机、导航系统、纯平显示器，这些以及其他很多高科技产品由于半导体产业才得以存在。没有该产业，现代传播媒体中使用的内存芯片和处理器就无法生产出来。 它们的生产需要极其洁净的真空条件并精确地进行监测。例如，在半导体生产设施（被称为“晶圆厂”）投入运行后，需要以测量压力上升的方式进行泄漏测试。只有系统的气密性得到了认可，才能批准该工艺流程。如果压力上升大于定义的阈值，则晶圆厂关闭，并启动泄漏检测以找出泄漏并将其修复。普发真空凭借其全面的售后服务体系，提供最佳专家支持（甚至为现场泄漏检测提供支持）。

产品优势 ■ 更低的运营成本 ■ 降低了对氦气的依赖性，更少受限于国际市场波动对氦气供应的影响 ■ 系统独立操作，独立于连接的检漏系统 ■ 氦气资源的回收利用符合环境保护法规（例如，DIN EN ISO14001） ■ 全自动操作 ■ 连接的检测系统能自动排空检测物体 典型应用 ■ 汽车行业（如安全气囊、铝圈、燃料系统部件、空调系统部件和空气悬架系统) ■ 制冷技术(如蒸发设备、压缩机） ■ 真空和超压技术(如连接件） ■ 包装技术(如药剂制品和食品） ■ 能源技术（如中压开关设备、过电压吸收器） ■ 研发设备和实验室 ■ 加速器

快速高效的输气管道检测对工艺可靠性和设备安全性至关重要。采用氦气检漏仪可以确定气体分配管道、槽、气柜和存储或传输气体的任何设备内的泄漏位置。氦气检漏确实是一种灵敏度高且动态范围广的无损检测方法。由于氦气检漏采用测试气体检测，检漏过程受到流体动力学定律的支配。单个测试对象的高内部流阻可能大大降低氦气检漏的效率。尤其是检测又长又细的输气管道时，例如高纯度介质供应系统或线饶式换热器的结构。 普发真空为所描述的泄漏检测方法的标准应用提供 ASM 340 或ASM 340 D 型设备。这些检漏仪的优点是： ■ 强大的内置前级泵能够实现高载气流量并因此缩短测量反应时间。 ■ 严重泄漏和正常模式间的高开关阀值为选择测试压力和灵敏度提供了最大的灵活性。 ■ 可将 ASM 340 D 型（带旁路选项）和 ASM 380 型设备用于规定需要无油检漏系统的高要求应用。 强大的 ASM View 软件包能够用于记录测量所得数值。该软件包管理所有当前的普发真空泄漏检测器，可以从我们网站上的下载专区免费下载： http://www.pfeiffer-vacuum.com/downloads/