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新一代全检膜厚测量仪ME-210-T
2022/11/30 14:48
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方案摘要：
产品配置单：
PHL膜厚测试仪/椭偏仪SE-101
型号： SE-101、102、110
产地： 日本
品牌： Photonic Lattice
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方案详情：
新一代全检膜厚测量椭偏仪ME-210（-T）
常规椭偏仪通常只能对一点进行膜厚测量，而且单点测量也需要耗费时间，虽然也有可以做到自动扫描检测整个样品膜厚状况的手段，但是点数和时间以及精度往往无法满足工业客户的需求；对客户的这一痛点日本Photonic lattic 通过以自研的偏振传感器为核心的新一代全检膜厚测量椭偏仪，可以做到1000点/分钟，6寸产品最快可以在3分钟内完成，不仅如此，ME-210-T针对透明基板也可测量。
高速/面分布测量
最大每分钟1000点以上超高速全面测量膜厚，短时间内就可以取得整个产品膜厚和分布图
微小领域测定（20un左右）
可简单测量任意微小区域
透明基板上的薄膜厚度也可测量
适用于玻璃基板上的极薄膜测定
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