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核心参数
仪器种类： 纳米压痕仪
产地类别： 进口
有效加载载荷范围： 0.5uN-10mN,5uN-2000mN
有效载荷分辨率： 低：0.03nN 高：T5nN
位移分辨率： 0.1um
测试所有材料的硬度
薄膜材料，如电镀、硬膜等
树脂材料，薄膜材料
极薄膜，如DLC
功能树脂膜和表面改性层
微粒和粉末材料
纳米张力试验
获得薄膜、极表面、微小区域的硬度·
弹性模量等机械性能
分析载荷和位移曲线以求特性，
无需压力痕迹观察
符合ISO 14577-1/JIS Z 2255 标准
1. 温度管理机制
● 抑制样品、试验机的热膨胀
● 风挡内部進行 士0.1℃的温度管理
● 测量部件使用低热膨胀材料（诺维奈特）
● 减少外部气流的影响
2. 高精度定位平台
● 采用本公司开发的用于电子束绘图设备的
高精度舞台技术
● 0.1 μm 最小移动距離
● 观察倍率 以2,000 倍测定任意位置
（20 倍标准物镜，配合使用数字变焦）
3. 除振机构
● 抗振动高精度楔形移动平台
● 标配主动式减震器
4.软件
● 压头校正、温度漂移校正、
日常检查提醒等辅助功能
● 久经考验的易用性
5.数据可重复性
抑制振动和温度变化等干扰影响的机构，
提高了数据再现性
● 连续测量也能获得稳定的数据
6.维护性
● 高负荷单元、低负荷单元易于更换
● 通过更换设备校准减少了设备停机时间
ELIONIX INC.纳米压痕仪ENT-5的工作原理介绍
纳米压痕仪ENT-5的使用方法?
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