2018-10-22 15:11
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透明材料应力双折射测量系统
日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦显微镜,将激光和白光源组合在一体,用于多功能高性能共聚显微镜.两组共焦光学器件与附加器件相结合,包括干涉仪,微分干涉对比观察和光谱反射膜厚度测量仪.
主要介绍应力双折射系统的技术原理及参数,让读者了解检测透明材料的应力双折射方法,给研发者和工艺工程师一些启发。
用于硅晶圆和蓝宝石的薄化工艺,硅晶圆薄化过程中与湿式抛光结合,出去表面破坏层及砂轮加工所衍生的残留应力,提供产业界对于提升晶圆薄化的技术,获取良好的成效。