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桌面型表面镀膜系统
核心参数
产地类别： 国产
DPU 桌面级真空镀膜系统采用模块化设计、分布式布置，兼容手 |
动控制和电脑软件联网控制方式，非常适合以积木式方式来灵活 |
定位于为真空镀膜方向教学提供一套高效、灵活、直观的动手实 |
践工具，解决目前学生面对设备只看不能动手组装搭建的问题。 |
同时也适合真空镀膜科研前期方案试探，快速（快10倍效率）、 |
低成本。此外也适用于非真空镀膜专业人士用于产品开发时，进 |
行简单的薄膜表面处理工序。 |
技术规格 | 参数 |
泵组 | 涡轮泵机组TPS80-涡轮泵机组TPS150 |
本底真空 | <5*10-6 Torr |
泵组启动时间 | <120 s |
腔室模块 | 标准ISO腔体，~? 100-300 mm， 尺寸可定制 |
靶源模块
| 2、3、4英寸磁控靶源 +多弧源MAC100（? 100 mm）可选 阳极层离子源IAS60+ ICP40 射频清洗源可选 |
电源模块 | 各种品牌直流、脉冲、射频等电源可选 |
气体控制 | 气体控制器模块+MFC流量计控制 |
真空规 | 德国Leybold Vacuum全量程复合规+MKS 皮拉尼规 |
操作方式
| 手动触摸屏操作+电脑联网控制
|
电源 | 220V AC，50/60Hz 接地三脚插头 |
质量保证 | 一年免费/终身维护 |
企业名称
北京欧屹科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110114697652403K
成立日期
2010-01-22
注册资本
800万元
经营范围
技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让;计算机技术培训;基础软件服务、应用软件服务(不含医疗软件);计算机系统服务;数据处理(仅限PUE值在1.5以下);零售计算机、软件及其辅助设备、电子产品、通讯设备、五金交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、专用设备;销售文化用品、体育用品、日用品;经济贸易咨询。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
北京欧屹科技有限公司
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北京市昌平区回龙观西大街115号龙冠大厦614室
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