洁净度测试流程

测前准备：

1竣工图面（初版）与相关规范确认。

2)洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。

3)测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）

4)洁净室环境需清洁完成。

5)测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。

测试目的：此检测动作在于确认无尘室洁净度等级是否达到设计要求。

法规依据：参考NEBB第二版无尘室测试程序标准,ISO 14644-1:1999(E)，无尘室空气洁净分类。

测试仪器：颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3413、3415、3445、HHPC3+。PMS型号：110

测试位置：测量点数不得少于每个洁净室面积的根号，另针对业主要求局部增加测试点数，详细测试点位置见图纸。

测试步骤：a.确定滤网平均风速及滤网泄漏记录均已完成测试，且天花板、地板、墙板等工程之收边均已完成，才可开始环境微粒子测试。

b. 确认测试点及配置图编号。

c. 测量点之周围3m半径内无障碍和污染源。

d. 距离地板上1.2m高度固定微粒子计数器之取样头测量。

e. 每一测量点均测量一分钟，取平均值为测量值。

合格标准：ISO Class 2: 100 count/ m³ @ 0.1µm & greater

          ISO Class 5: 10,200 count/ m³ @ 0.3µm & greater

 ISO Class 6: 02,000 count/ m³ @ 0.3µm & greater 35,200 count/ m³ @ 0.5µm & greater

 ISO Class 7: 352,000 count/ m³0.5µm & greater