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CS200数字质量流量计/质量流量控制器，该产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准，相对模拟产品有使用便捷、可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等诸多优点。 可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。
其产品特点有
1、数字化，全金属密封；
2、高精度，快响应；
3、极低零漂及温漂；
4、良好的兼容性
核心技术指标
1、数字模拟信号兼容；
2、精度:±1.0% S.P. （≥35% F.S.） ±0.35% F.S.（＜35% F.S.）；
3、响应时间： ≤0.8sec；
4、零点漂移：<0.6%F.S/年；
5、流量规格：2sccm-50slm；
6、输入信号: RS232/485 & DeviceNet, 0-5V,0-10V,4-20mA；
7、EMC 抗电磁干扰：CE。
应用领域
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
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企业名称
南京科航实验仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
320113000127352
成立日期
2011-10-25
注册资本
500
经营范围
仪器仪表及零配件开发、应用、维修及销售;电子产品、办公设备、玻璃仪器、机电设备、建材销售;环境工程;供气设备及配件、焊接切割设备及配件;阀门及管道工程设计安装;化工产品销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
南京科航实验仪器有限公司
公司地址
南京市新街口天空之都23楼
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公司名称： 南京科航实验仪器有限公司
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