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核心参数
组件类别： 光学元件
得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注，近10年的积累，对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术，至今已经给客户生产了近2万片镜片，中大多数都是半导体工业的客户，如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。经过双方充分的讨论及密切，我们共同决定将在半导体工业应用成熟的镀膜技术推广基于HHG，激光驱动等离子小型极紫外光源的科研应用，针对中国市场联合推出的1英寸的高性能13.5nm多层膜镜片，并在中国办公室备有库存，以实现镜片的快速交付。
激光驱动的等离子极紫外光源通常是4Π发散的，为了尽量多的收集13.5nm in band光子，通常需要足够大的收集立体角。我们可供大致700mm口径的Mo/Si多层膜收集。通过镜片可以承受极高的温度，对于被污染的收集镜子，我们可以提供翻新服务。
实测反射率曲线
高反
宽带
翻新前后反射率对比
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企业名称
北京众星联恒科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108015768001
成立日期
2013-04-09
注册资本
100
经营范围
技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务、技术推广;销售机械设备、电子产品、五金、交电、计算机、软件及辅助设备、通讯设备、润滑油、非金属矿石、金属矿石、金属材料、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、自行开发后的产品;计算机系统服务;数据处理;基础软件服务;应用软件服务;销售自行开发后的产品;货物进出口、技术进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京众星联恒科技有限公司
公司地址
北京市海淀区信息路1号 国际创业园西区 2号楼1305
客服电话
公司名称： 北京众星联恒科技有限公司
公司地址： 北京市海淀区信息路1号 国际创业园西区 2号楼1305 联系人： 李先生 邮编： 100085 联系电话： 400-860-5168转2943
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