EUV多层膜反射镜

优点

NTT-AT公司已提供了20 多年高质量XUV、EUV和X射线反射镜。尤其是利用本公司的丰富经验和出色技能，提供可定制设计的多层膜反射镜，满足各用户的需求。

1990年，NTT-AT公司开发了极紫外（XUV或EUV）多层反射镜和X射线反射镜并开始销售。并将亚洲、北美洲、南美洲和欧洲的大学、研究所和企业反馈的意见反映到这些反射镜的设计中。本公司将利用广泛积累的经验和可靠的技术支持用户的多层反射镜生产。

特点

因为NTT-AT公司的多层反射镜质量高，所以一直被世界上的研究机构所选用。本公司定制多层材料和结构，满足用户的基板、峰值波长、带宽和分散体等详细规格。还应对耐高温多层反射镜。利用同步加速器设备的反射率评估服务也可作为选项提供。

同时也为包括EUV光刻的EUV工业应用提供成本低、交付周期短、质量稳定的多层反射镜。作为用户的研发伙伴，支持用户的EUVL光源开发、EUV光刻胶开发、EUV掩模检查和其它周边领域的实际利用。

XUV多层膜反射镜（EUV多层膜反射镜）

基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面基板材料：石英、硅、zero dewer等
多层膜材料：Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/C等
基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米

NTT-AT公司将提供高耐用性XUV多层反射镜、耐高温XUV多层膜反射镜以及施瓦兹希尔德光学系统和泵浦探测光学系统等光学系统。

X射线多层膜反射镜

基板形状：平面、椭圆面、抛物面、柱面、超环面
基板：石英、硅、zero dewer等
基板材料：W/B4C、W/C、Pt/C等
基板尺寸：最大500毫米

NTT-AT公司提供K-B反射镜系统、沃尔特反射镜等

单层反射镜

基板形状：平面、椭圆面、抛物面、柱面、超环面基板材料：石英、硅、zero dewer等
多层材料：C、B4C、SiC、Ru、NbN、Pt等
基板尺寸：最大500毫米

NTT-AT公司提供K-B反射镜系统、沃尔特反射镜等

本公司定制多层材料和结构，满足用户的基板、峰值波长、带宽和分散体等详细规格。还应对耐高温多层反射镜。利用同步加速器设备的反射率评估服务也可作为选项提供。世界上只有为数不多的公司生产和销售EUV反射镜。如果您不满意现在的供应商，NTT-AT公司能够制造满足您严格要求的定制设计反射镜。NTT-AT公司将推荐正确反映用户规格的最优设计。