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资质荣誉
当前位置： 溢鑫科创 > 扫描电镜（SEM） > 高精度激光干涉样品台

高精度激光干涉样品台

品牌： XENOS
产地： 德国
型号： XeMove
报价： 面议
产品介绍
科研工作者在做电子束曝光以及纳米刻蚀应用时，普通电镜或FIB的样品台由于精度限制很难达到很好的加工精度和拼接精度. XeMove超高精度样品台可以配合几乎所有主流电镜或FIB系统使用，利用激光干涉原理可以提高精度到10nm!
可配套电子束曝光做大范围纳米图形生成与高精度拼接，也可以配套FIB进行高精度纳米刻蚀沉积，以及满足半导体用户和反向工程用户对样品台高精度的要求！

Specifications

Measurement resolution: 10nm
Stitching + Overlay Accuracy: +/- 100 nm
Travel ranges available: 55 to 120 mm, depending on model
Travel speed: 2 mm/s
Yaw-, Roll- and Pitch- error: < 0,002°
Controlled axis: X and Y, Z controlled via SEM main stage
Vacuum and Materials: < 10-6 mbar, completely oil free and non-magnetic design

工商信息

企业名称

上海硕赛国际贸易有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

913101153207402866

成立日期

2014-10-16

注册资本

人民币200.0000万元整

经营范围

从事货物及技术的进出口业务,机械设备、仪器仪表、计算机、软硬件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品).通讯器材及配件、机电设备、化工原料及产品(除危险化学品,监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、电子产品、日用百货的销售,商务信息咨询(除经纪).(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

联系方式

溢鑫科创

公司地址

上海市沪青平公路2008号（紧靠明珠路）竞衡大业广场803室

客服电话

溢鑫科创科技集团为您提供XENOS高精度激光干涉样品台XeMove，XENOSXeMove产地为德国，属于扫描电镜（SEM），除了高精度激光干涉样品台的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多扫描电镜（SEM）,溢鑫科创客服电话，售前、售后均可联系。
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公司地址： 上海市沪青平公路2008号（紧靠明珠路）竞衡大业广场803室 联系人： 郝先生 邮编： 200236

主营产品：

离子溅射仪 电子束曝光机 电镜附件及外设

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