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ALIO六轴位移台HybridHexapod®重新定义纳米加工和精 准对位贴合技术!

2022-07-14 11:41

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资料摘要:

昊量光电推出全新一代高精度六轴位移台Hybrid Hexapod采用了与传统6自由度(6-D)定位设备不同的方法,并以极具竞争力的价格展示了更高的性能。六轴位移台Hybrid Hexapod结合了精密XY单片工作台、三脚架和连续旋转的Theta- Z轴,而不是6个独立的腿(和12个连接接头),提供卓越的整体性能。这使得传统的六足位移台运动学过时了,在精度、路径性能、速度、刚度和更大的工作范围上都有了数量级的改进,几乎可以无限的XY行程,完全可编程的工具中心点位置。
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