MirrorcleMEMS扫描镜技术概述（2）

2022-07-07 10:15

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资料摘要：

Mirrorcle Technologies无框架两轴扫描MEMS镜像设备是基于专利的ARI-MEMS制造技术，最初是由位于加州伯克利的亚得里亚海研究所(“ARI”)的研究项目开发的。它们在两轴上提供非常快的光束转向，同时需要超低功耗。反射镜使激光束或图像在每轴上的光学扫描角度(点对点或准静态模式)达到32°，共振模式下的角度更高。与笨重的基于振镜的光学扫描仪相比，这些设备需要的驱动功率要小几个数量级:驱动镜面倾斜旋转的静电执行器持续全速运行耗散的功率不到1mw。Mirrorcle Technologies MEMS镜面完全由单片单晶硅制成，具有良好的可重复性和可靠性。在平坦光滑的镜面表面涂上一层具有高宽带反射率的金属薄膜。较小和中等尺寸的镜子被作为硅MEMS芯片的集成部件制造，而较大的镜子被粘合到驱动器上，允许定制镜子尺寸。

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