时域热反射测量系统 (TDTR 测试系统)
飞秒激光时域热反射测量技术,即Time-domain Thermoreflectance, TDTR 是一种基于飞秒超快激光抽运探测(pump-probe)技术的导热测量技术。相比于其他导热测量技术,目前TDTR技术因其可以测量纳米薄膜热导率和界面热阻以及非接触式测量特性而具有独特优势。
我司新推出的时域热反射测量系统可用于测量金属薄膜、块体或液体的热导率、界面热阻等多项热物性参数,薄膜测量厚度可达纳米量级!在微纳结构新材料的研发与分析等方面得以越来越广泛的应用。
系统通过利用飞秒激光照射样品表层金属薄膜,令薄膜吸收能量并将其转化为热能, 从而传导给样品,并随时间尺度逐渐向样品传递。金属薄膜表面温度随时间回落,从而影响到其反射率。届时再通过测量另一束探测激光的反射强度曲线,通过后续一系列的解调分析,即可得到金属薄膜温度随时间的变化,进而获得被测样品的导热特性和相关热物性参数等。
产品特点:
超快动态测量过程,nm级厚度样品测量
各项异性热导率测量
纳米材料界面热阻材料(石墨烯合金等界面热阻测量)
高温高压外场测量(Gpa 高压环境 1000℃ 外场环境兼容)
本系统采用了长行程线性位移台,可以实现较高时间分辨率的热响应测量;
双波长激光分别进行泵浦和探测,降低了加热和探测过程之间的干扰;
调制和锁相的使用进一步保证了微小热响应信号的捕捉和测量;
ccd显微可视技术则能够精确控制具有微观结构样品的测量。
关键核心技术
高分辨率时域热反射技术
双波长抽运探测技术
调制锁相放大技术
光路共享CCD显微可视技术
高集成度分体式模块化设计
高灵活度样品位设计
可测材料:
块体材料
薄膜材料
可测参数:
热导率
热扩散率
吸热系数
界面热阻
应用:
材料分析
薄膜的热物性参数测量
系统规格:
热导率测量范围 0.1~2,000 W·m-1·K-1
热扩散率测量范围0.05~1,000 mm2·s-1
可测薄膜厚度 >10 nm
吸热系数 500~50,000 J·m-2·K-1·s-0.5
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SDTR一种薄膜面内各向异性热导率的测量方法
近年来,随着半导体行业的迅猛发展,半导体元件的体积急剧减小,对芯片或薄膜材料的热物性探究至关重要,这样给予针对超小尺寸的热物性探测技术提供了发展需求,而其中基于光学的热反射法的发展使得小尺寸(亚微米)样品的热导率测量变得容易。在频域热反射法FDTR测量中:锁相放大器的参考相位需要被精确计算以减小对相位滞后信号的影响。
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2023/12/22
金刚石薄膜热导率测量的难点和TDTR解决方案
金刚石薄膜的热导率表征不是一个简单的问题,特别是在膜层厚度很薄的情况下美国国防部高级研究计划局(DARPA)的电子热管理金刚石薄膜热传输项目曾经将将来自五所大学的研究人员聚集在一起,全面描述CVD金刚石薄膜的热传输和材料特性,以便更好地进一步改善热传输特性,可见其在应用端处理优化之挑战。
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2022/08/10
企业名称
上海昊量光电设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101176727298067
成立日期
2008-04-03
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口:技术进出口.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:光电设备及元器件、光纤光缆、光电传感器、仪器设备、电子产品、通讯器材研发、生产、销售;工业自动化设备及配件、机械设育、汽车零配件、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑装饰材料、服装、纺织品及眼材料、计算机软硬件及辅助设备销售;软件开发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
上海昊量光电设备有限公司
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