昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器,基于其独特的测量原理,相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道,使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法,不过与传统激光干涉仪相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及饱和吸收气室(GC)作为频率校准参考,通过激光波长调谐扫描,比较两种不同的干涉图样,可以实现其它设备所不具有的jue dui 距离测量,基于这种测量方式,使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度,且与信号对比度和强度无关,由于使用整个干涉模式来提取位移信息,因此不存在非线性误差。此外,quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。