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产品负责人:
姓名:李工(William)
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XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台非常适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。
该平台采用超声波马达,对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动,并通过高频率产生极高的速度,并且没有噪声,电机在定位后可产生自锁,由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触,大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。
XLS系列平台可提供不同的行程,行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用,平台集成不同精度的位置传感器,根据闭环系统中传感器的精度可分为以下几类线性平台
1)集成-1250位置传感器的压电马达平台-min setp1250nm,
XLS-1-40
XLS-1-50
XLS-1-60
XLS-1-70
XLS-1-80
XLS-1-100
XLS-1-120
Unit
travel range
27
32
37
42
50
72
92
mm
resolution
1250
nm
unidirectional repeatability
±1250
bidirectional repeatability
±2500
load capacity
0.5
kg
holding force
1
N
driving force
max. speed
200
mm/s
min. speed
2 to 5
cable length
1.5
m
2)集成-312位置传感器的压电马达平台-min setp350nm
350
±350
±700
3) 集成-78位置传感器的压电马达平台-min setp80nm
80
±80
±160
4) 集成-1位置传感器的压电马达平台-min setp25nm
25
±25
±50
此外,由于该平台采用模块化设计,可以组成多维位移平台,例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。
主要特点:
l 大行程 (100mm)
l 高精度(25nm)
l 高速度(100mm/s)
l 支持断电自锁
l 可在真空和非磁环境
主要应用:
l 光电子学
l 扫描电子显微镜
l 半导体生产
l 医学和材料科学
l 生命科学与生物技术学
l 显微镜和计量学
企业名称
上海昊量光电设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101176727298067
成立日期
2008-04-03
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口:技术进出口.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:光电设备及元器件、光纤光缆、光电传感器、仪器设备、电子产品、通讯器材研发、生产、销售;工业自动化设备及配件、机械设育、汽车零配件、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑装饰材料、服装、纺织品及眼材料、计算机软硬件及辅助设备销售;软件开发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
公司地址
上海市徐汇区虹梅路2007号远中产业园三期6号楼3楼
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公司名称: 上海昊量光电设备有限公司
公司地址: 上海市徐汇区虹梅路2007号远中产业园三期6号楼3楼 联系人: 昊量 邮编: 200235 联系电话: 400-860-5168转2831
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