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纳米平移台（压电马达型，10-1500mm行程）
产品负责人：李工(William)
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XLS系列线性位移平台，是由超声波压电马达驱动，可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动，速度可达到200mm/s，并且该平台非常适用于扫描，可提供恒定的扫描速度，速度不稳定性低于2%。
该平台采用超声波马达，对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动，并通过高频率产生极高的速度，并且没有噪声，电机在定位后可产生自锁，由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触，大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。
XLS系列平台可提供不同的行程，行程范围可达到100mm。为了适应不同精度要求的应用，平台集成不同精度的位置传感器，目前可提供的位置传感器有1.25μm；330nm；78nm和1nm具体参数如下图所示：
此外根据不同应用可以选择不同行程的平台，可提供平台行程参数如下：
此外，由于该平台采用模块化设计，可以组成多维位移平台，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。
主要特点：
l 大行程 （100mm）
l 高精度（25nm）
l 高速度（100mm/s）
l 支持断电自锁
l 可在真空和非磁环境
主要应用：
l 光电子学
l 扫描电子显微镜
l 半导体生产
l 医学和材料科学
l 生命科学与生物技术学
l 显微镜和计量学
上海昊量光电设备有限公司
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