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核心参数
产品种类： 电动位移台
产地类别： 进口
高精度微型六维位移台
产品负责人：李工(William)
电话：（微信同号）
邮箱：
昊量光电设备有限公司推出的六足位移平台是基于线性平台模组开发的六维运动控制系统。该平台可提供六个自由度控制（XYZ和绕三个轴的旋转）。与常规的六足平台相比该平台，该平台体积更紧凑，拥有较高的刚度和较低的运动质量，并且客户可以自定义虚拟运动轴点。
由于平台均采用模块化设计，因此其运动尺寸和作用力可以根据需求的不同做定制，行程可从几厘米到一米，分辨率可达到纳米量级。
产品拥有以下特点：
1）拥有六个自由度
平台是一个并联运动纳米操作系统，不同于常规的堆叠设计，该平台由多个线性平台同时运动驱动。定位器的平行设置优化了整个系统的刚度，并允许控制所有六个自由度（X,Y,Z,俯仰，偏航和旋转）
2）用户可自定义轴心点
可自由设置轴心点，可绕空间任意一点旋转
3）多选项
高&超高真空兼容
非磁材料
抗紫外线材料
4）高分辨率和重复精度
无反向空回的机械设计使该系统与线性平台有相同的量级的性能，分辨率可达到1nm和1μrad，X,Y,Z的双向可重复性可达到200nm，旋转重复精度可达10μrad，对于小行程重复精度会更高。
上海昊量提供的六维调节架主要包含以下几款产品。
Positioner Series | 70.42 | 115.25 | 110.45 | 225.75 | P-SLC-17 | P-SLC-24 | P-SLL | Wafer-2000 | |
Picture |  |  |  |  |  |  |  |  | |
Travel (mm) | X | 10 | 11 | 20 | 41 | 48 | 79 to 119 | 20 to 1200 | 200 |
Y | 10 | 11 | 20 | 41 | 28 to 48 | 45 to 119 | 45 to 119 | 200 | |
Z | 5 | 5 | 11 | 21 | ≤9 | ≤12 | ≤16 | 10 | |
Rotation(°） | Qx | 14 | 18 | 21 | 20 | ≤28 | ≤31 | ≤42 | 6 |
Qy | 16 | 20 | 24 | 23 | ≤26 | ≤27 | ≤33 | 7 | |
Qz | 28 | 37 | 38 | 41 | ≤20 | ≤42 | ≤42 | 24 | |
repeatability forfull travel range | nm | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 |
μrad | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | |
max. vertical load [N] | 5 | 5 | 5 | 10 | 5 | 10 | 10 | 20 | |
max. horizontal load [N] | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 5 | 2.5 | 5 | 5 | \ | |
dimension [mm2] | F70 | F115 | F110 | F225 | 110′50 | 110′90 | 250′80 | 420′430 | |
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企业名称
上海昊量光电设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101176727298067
成立日期
2008-04-03
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口:技术进出口.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:光电设备及元器件、光纤光缆、光电传感器、仪器设备、电子产品、通讯器材研发、生产、销售;工业自动化设备及配件、机械设育、汽车零配件、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑装饰材料、服装、纺织品及眼材料、计算机软硬件及辅助设备销售;软件开发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
上海昊量光电设备有限公司
公司地址
上海市徐汇区虹梅路2007号远中产业园三期6号楼3楼
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