多波长椭偏仪（仅需25万！）

多波长椭偏仪（仅需25万！）

姓名：李工(William)                            

电话：                            

邮箱：

AUTFS1椭偏仪是利用椭圆偏振的方法对样品进行光学表征。在该系统中由偏振态发生器（PSG）发射已知偏振态的光斜入射到样品上，然后偏振态检测器（PSD）检测反射光的偏振状态。如下图所示

由样品引起的发射光偏振态的变化可以由P偏振光和S偏振光的反射率的比值决定。比值为复数，如下图所示： 其中tan（Y）定义了P偏振光和S偏振光反射率比值的大小，D定义了P偏振光和S偏振光的相位差。

由于该方法测量的是一个比值，因此对光的强度的变化，以及样品缺陷造成的散射不敏感，并且在每个波长测量两个参量可获得两个常量例如：薄膜厚度和折射率，此外D对薄膜厚度非常敏感，可以使薄膜厚度测量精度到0埃。

上海昊量光电推出的多波长椭偏仪采用长寿命的LED光源，可分别提供465nm、525nm、580nm和635nm四种不同波长，并使用无移动部件的椭圆偏振检测器，紧凑的系统提供快速可靠的薄膜测量。

通过1秒的测量可以精确的测量0-1000nm的大多数透明薄膜的厚度。并可以获得n和k等光学常量。

相比于单波长椭偏仪，多波长椭偏仪可测定薄膜厚度，对于透明薄膜测量厚度至少可达1μm，不存在厚度周期性问题；可确定样品其它其它参数特性例如薄膜粗糙度、多层膜厚度等；对数据分析提供检测依据，一个良好的分析模型应该适用于不同波长的数据；对于非常薄的薄膜（<20nm）多波长椭偏仪提供的数据信息量可以与光谱椭偏仪相媲美。

应用案例：

原位测量：

                          AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber                                                              AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber

选配件：

1、聚焦选项：将样品上的光束缩小至0.8 x 1.9 mm 或0.3 x 0.7 mm

2、聚焦束检验选项

    3、自动成像系统

产品特点：

•  多波长

• 椭偏检测器中无移动部件

• 优异的测量精度（优于0.001nm）

• 可原位测量