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核心参数
产品种类： 电动位移台
产地类别： 进口
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空气轴承位移平台
可根据客户要求定制不同类型的位移平台
LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承，该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比，采用气体为润滑剂，因此所有运动都是无接触的，因此在整个使用寿命之内，设备的性能保持不变，并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动，无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面，可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。
上海昊量光电设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时，精度可达到300nm，平移台拥有优异的分辨率，重复精度可达到100nm。
此外提供高精度的复杂运动和定位方案：
提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件
?整体解决方案
?定制化解决方案
?复杂的多轴与并联运动系统
?超精密空气与机械轴承
?软件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……
产品特点：
l 优异的重复精度
l 超大行程
l 采用空气轴承，无需维护
l 可按客户要求进行定制
主要应用
l 高性能扫描
l 光学检测系统
l 超精密研磨和切削
l 光伏系统
l 医疗系统
l 同步辐射或X射线
l 激光加工
l 半导体行业
l 晶体处理
产品参数：
Units | LS100 | LS200 | LS300 | LS400 | LS500 | LS1000 | LS1500 | |
travel | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 1000 | 1500 |
load capacity | kg | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 |
accuracy | μm | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±1.0 |
repeatability | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 |
flatness | μm | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±3 | ±5 |
pitch | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
roll | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
yaw | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
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上海昊量光电设备有限公司
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