纳米级高速大行程压电马达平移台
AU-XLS系列压电马达线性平移台拥有独特的特点。该平移台是一款兼具大行程和高精度的压电马达位移平台。
该平移台采用无声的超声波马达,超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子,在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动,促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动,每个循环的进给为几个纳米,高频的信号,可以使转子高速的运动。因此AU-XLS系列压电马达平移台的最大速度可达到400mm/s。
理论上压电马达平移台的行程仅取决于转子的长度,因此AU-XLS系列位移平台可提供的行程范围可达94mm,采用线性编码器位置传感器闭环控制,使位移平台的位移分辨率可达到78nm,在满足大行程的同时实现了高的精度。由于压电陶瓷已经加载了预加力,因此断电之后平移台会有自锁功能,使位移平台依然保持在原位。这样可以减少了能源的消耗和产热量,提高了位移平台的精度。
此外,由于该平台采用模块化设计,因此该平移台可以组成多维位移平台,并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。
主要特点:
l 大行程 (92mm)
l 高精度(78nm)
l 高速度(400mm/s)
l 支持断电自锁
l 可在真空和非磁环境
主要应用:
l 光电子学
l 扫描电子显微镜
l 半导体生产
l 医学和材料科学
l 生命科学与生物技术学
l 显微镜和计量学
产品参数:
AU-XLS | |
Minimum travel range | 19 mm |
Maximum travel range: | 92 mm |
Load capacity | < 1kg |
Holding / driving force | ~ 1N |
Min. step size | 500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder] |
Max. speed | 400mm/s |
Min. speed | 1mm/s |
Constant speed | +/- 1% at typical scan speed |
Lifespan | > 100 km (typical) |
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企业名称
上海昊量光电设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101176727298067
成立日期
2008-04-03
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口:技术进出口.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:光电设备及元器件、光纤光缆、光电传感器、仪器设备、电子产品、通讯器材研发、生产、销售;工业自动化设备及配件、机械设育、汽车零配件、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑装饰材料、服装、纺织品及眼材料、计算机软硬件及辅助设备销售;软件开发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
上海昊量光电设备有限公司
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上海市徐汇区虹梅路2007号远中产业园三期6号楼3楼
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