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高精度紧凑型压电旋转台
AU-XRT系列压电旋转台是一款紧凑的高精度的旋转平台。该系列旋转台采用专利轴承技术,使压电旋转平台的径向、轴向和倾斜方向上的旋转误差都非常的小。这使的该系列旋转台成为市面上最精确地产品。该系列平移台由滑块驱动和超声波马达两种驱动方式,可进行连续旋转,对角度无限制,并且集成了光学编码器闭环控制,使压电旋转台拥有极高的分辨率和可重复性。
上海昊量光电设备有限公司推出的压电旋转台按照使用马达的不同可以分为两类。
1)使用超声波马达驱动的旋转台,AU-XRT-U系列。
AU-XRT-U系列是由超声波压电马达驱动的紧凑而精确的旋转台。其与空气轴承旋转台拥有相媲美的旋转精度和误差但是却拥有更小的体积和更低廉的价格。与其它压电技术相比超声波压电电机拥有更长的使用寿命、更低的功耗并且无噪声。并且集成了光学编码器闭环控制,精度最高可达到0.0002°,速度最大可达到1080°/s。该系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40两款旋转台。
Fig1 运动误差测量
Fig2 AU-XRT-U
2)滑块式压电马达驱动旋转台AU-XRT-A.
AU-XRT-A采用滑块式压电马达驱动,利用专利轴承技术,即使在旋转过程中也可以主动将径向误差运动补偿,这使得其成为市场上独一无二的最为精确的压电旋转台,AU-XRT-A的径向误差小于500nm,可以与空气轴承精度相媲美,并且体积紧凑价格低廉,并且可以提供真空和磁性应用的产品。
Fig3. 运动误差测量
Fig4.AU-XRT-A旋转台
主要特点
l 高精度(200μ°)
l 高速度(1080°/s)
l 可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)条件使用
主要应用
l 微型CT扫描仪
l X射线衍射系统
l 电子显微镜
l 同步加速器
l 计量学
产品参数:
AU-XRT-U30
AU-XRT-U40
AU-XRT-A
Drive principle:
ultrasonic piezo motor
stick-slip
Radial error motion:
< 5 μm (-SB) or < 1 μm (-PB)
down to 500 nm
Axial error motion:
< 3 μm (-SB) or < 0.5 μm (-PB)
< 1 μm
Tilt (wobble):
< 50 μrad (-PB)
< 100 μrad
Load capacity:
< 1 kg
≤ 1 N (100 g)
Aperture:
7mm
10 mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor
Driving torque:
14 Nmm
20 Nmm
Holding torque:
7 Nmm
10 Nmm
Speed:
from 8 m°/s up to 3 rev/s
± 2 rpm
Resolution:
6.25 m° (-S)
6.25 m° (-S) or 200 μ° (-P)
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企业名称
上海昊量光电设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101176727298067
成立日期
2008-04-03
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口:技术进出口.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:光电设备及元器件、光纤光缆、光电传感器、仪器设备、电子产品、通讯器材研发、生产、销售;工业自动化设备及配件、机械设育、汽车零配件、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑装饰材料、服装、纺织品及眼材料、计算机软硬件及辅助设备销售;软件开发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
公司地址
上海市徐汇区虹梅路2007号远中产业园三期6号楼3楼
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公司名称: 上海昊量光电设备有限公司
公司地址: 上海市徐汇区虹梅路2007号远中产业园三期6号楼3楼 联系人: 昊量 邮编: 200235 联系电话: 400-860-5168转2831
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