亚纳米级二维微动台

产品简介

亚纳米级二维微动台

亚纳米级二维定位工作台！

AU-NPS-XY系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。

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全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

利用有限元分析对柔性铰链结构进行分析，使其在整个行程中产生的角位移低于25微弧度。在整个行程中可以保持更好的直线性。线性误差小于0.01%，滞后小于0.005%。

上海昊量光电设备公司推出的亚纳米二维微动台主要包括NPS-XY-100A和NPS-XY-100B两款产品。产品性能大体相似。材质有所差异。

其中AU-NPS-XY-100A采用超级不胀钢（因瓦合金）材质，其热膨胀系数极小达到0.3ppm K^-1，使热漂移达到最小，这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。

AU-NPS-XY-100B采用铝合金结构，虽然相对于因瓦合金来说有较高的热膨胀系数（23ppm K^-1），但是由于其拥有较轻的移动质量，因此具有更高的速度。

u  主要特点 

l  亚纳米级的分辨率

l  高的带宽

l  高速响应

l  高的可靠性

l  结构紧凑

l  压电陶瓷驱动

l  柔性铰链设计

l  电容位移传感器闭环反馈

u  主要应用 

 高精度显微镜、原子力显微镜、扫描探针纤维镜、近场扫描光学显微镜等。

u  产品主要参数