孚光精仪在上海,天津同时发布一款新型激光直写式雾无掩模光刻系统。
这款无掩模光刻机是一款高精度的激光直写光刻机。这套无掩模光刻机具有无掩模技术的便利,大大提高影印和新产品研发的效率,节省时间,是全球领先的无掩模光刻系统。
这款激光直写无掩模光刻机直接用375nm或405nm紫外激光把图形写到光胶衬底上。
激光直写无掩模光刻系统特色
尺寸:925x925x1600mm
内置计算机控制接口
激光光源:375nm或405nm
视频辅助定位系统
自动聚焦设置
详情浏览:http://www.f-opt.cn/guangkeji.html
激光直写无掩模光刻机参数
线性写取速度:>500mm/s
位移台分辨率:100nm
重复精度: 100nm
晶圆写取面积:1—6英寸
衬底厚度:250微米-10毫米
激光点大小:1-100微米
准直精度:500nm
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