项目 | 技术指标 |
仪器型号 | EM12-PV |
激光波长 | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚测量重复性(1) | 0.2nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
0.2nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) | |
折射率精度(1) | 2x10-3 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
2x10-3 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) | |
单次测量时间 | 与测量设置相关,典型1.6s |
光学结构 | PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度) |
激光光束直径 | 1-2mm |
入射角度 | 40°-90°可手动调节,步进5° |
样品方位调整 | 一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品 |
可测量156*156mm电池样品上每个点 | |
Z轴高度调节:±6.5mm | |
二维俯仰调节:±4° | |
样品对准:光学自准直显微和望远对准系统 | |
样品台尺寸 | 平面样品直径可达Φ170mm |
兼容125*125mm和156*156mm的太阳能电池样品 | |
最大的膜层厚度范围 | 粗糙表面样品:与绒面物理结构及材料性质相关 |
光滑平面样品:透明薄膜可达4um,吸收薄膜与材料性质相关 | |
最大外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) |
仪器重量(净重) | 25Kg |
选配件 | 水平XY轴调节平移台 |
真空吸附泵 | |
软件 | ETEM软件: |
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企业名称
北京赛凡光电仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110112006999781
成立日期
2004-05-28
注册资本
1000
经营范围
销售仪器仪表、机械设备;技术开发;技术转让;技术咨询;技术服务;货物进出口;代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本区产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京赛凡光电仪器有限公司
公司地址
北京市通州区张家湾镇光华路16号方和正圆
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