CSPM6000光学-原子力显微镜一体机产品方案

1.系统功能：

①*原子力显微镜(AFM)/摩擦力/横向力显微镜（LFM）：横向 0.2nm,垂直 0.03nm，包括接触、轻敲、相移成像等多种工作模式，可实现力－距离曲线 、振幅－距离曲线、相位－距离曲线、振幅－频率曲线、相位－频率曲线等测量功能；摩擦力显微镜以及恒载荷、恒高工作模式，以及摩擦力回路曲线、摩擦力－载荷曲线等测量功能；

②*可扩展纳米加工（含图形刻蚀、压痕、矢量扫描等模式）、磁力/静电力、液相、导电原子力、扫描探针声学/压电力显微镜功能；

③*探头光路偏平设计，可扩展光学和原子力显微镜同步成像功能。

2.参数性能：

①力检测灵敏度：≤5pN

③图象分辨率：128X128，256X256，512X512，1024X1024，2048X2048，4096X4096

③扫描角度：0～360°

④扫描频率：0.1～100Hz 

3.电子控制系统：

①*内置德州仪器 (TI)的双核处理器(DSP+ARM)；

②*嵌入式PID自整定智能调节器，无需手动设置，系统自动整定优化参数；

③*采用国际主流以DSP技术为基础实现完全数字反馈控制系统方案；

④*设计系统信号的监测接口和外加调制信号的输入接口，预留多通道的信号输入/输出和标准电源供电接口，采用标准D型插头，信号定义（Power、AD/DA、DI/DO、Signal Out、Signal In）全部公开并遵从统一的电气标准；

⑤*融合以太网TCP/IP协议和高速USB的双通讯接口，完全实现采样点的高实时性和时间间隔的准确性，确保通讯的高稳定和数据的可靠性；

⑥*具有16×4液晶显示屏，实时交替显示系统状态指示、序列号、物理地址，接收数据包数量/发送数据包数量等。

4.软件系统：

①*具有简体、繁体和英文多种语言版本的在线控制软件和后处理软件均支持新的Win10，并兼容Windows 7/Vista/XP/2000/NT/9X；

②*在线控制软件：具备双向、往返、线扫描等多种扫描模式，针尖表征及图像重建功能（针尖形貌估计/图像重建/用已知针尖重建图像），矢量扫描脚本编译器，扫描图像亮度、对比度实时动态，多通道信号同时采集和显示，具备实时在线三维图像显示功能；

③*图像处理软件：具有数据导出功能，用户可取得原始数据;图像同步功能，可指定多达4个相关图像同步处理;用户任意定义的24位系统调色板（伪彩色方案）; 图像滤波（平均值滤波/卷积滤波/高斯滤波/局部统计滤波/中值滤波/排序滤波/滚球滤波/TOP-HAT滤波/消除扫描线。

CSPM6000光学-原子力显微镜一体机基本配置

基本配置（含原子力、横向力、接触模式、轻敲模式、相移成像模式）                                    

包括： 1、CSPM6000型探头（光路偏平设计）

2、CSPM6000型主控机箱

3、计算机系统

DELL，奔腾双核处理器，500 GB HD，2G 内存，16X DVD-ROM ，19" 液晶显示器

4、控制软件和后处理软件（for Windows 10/7/XP/Vista版）

5、1.5um×1.5um扫描器和15um×15um扫描器(可调换其它)

6、AFM/LFM探针架

7、原子力微悬臂探针20枚（接触和轻敲各10枚）

8、样品台10枚

磁性/非磁性样品台各5枚，直径：12.5mm；厚度：1.5mm

9、光学显微镜系统

10、两级样品调节机构

11、专用便携式工具箱（包括工具组）

12、CSPM系列用户手册