1.系统功能:
①*原子力显微镜(AFM)/摩擦力/横向力显微镜(LFM):横向 0.2nm,垂直 0.03nm,包括接触、轻敲、相移成像等多种工作模式,可实现力-距离曲线 、振幅-距离曲线、相位-距离曲线、振幅-频率曲线、相位-频率曲线等测量功能;摩擦力显微镜以及恒载荷、恒高工作模式,以及摩擦力回路曲线、摩擦力-载荷曲线等测量功能;
②*可扩展纳米加工(含图形刻蚀、压痕、矢量扫描等模式)、磁力/静电力、液相、导电原子力、扫描探针声学/压电力显微镜功能;
③*探头光路偏平设计,可扩展光学和原子力显微镜同步成像功能。
2.参数性能:
①力检测灵敏度:≤5pN
③图象分辨率:128X128,256X256,512X512,1024X1024,2048X2048,4096X4096
③扫描角度:0~360°
④扫描频率:0.1~100Hz
3.电子控制系统:
①*内置德州仪器 (TI)的双核处理器(DSP+ARM);
②*嵌入式PID自整定智能调节器,无需手动设置,系统自动整定优化参数;
③*采用国际主流以DSP技术为基础实现完全数字反馈控制系统方案;
④*设计系统信号的监测接口和外加调制信号的输入接口,预留多通道的信号输入/输出和标准电源供电接口,采用标准D型插头,信号定义(Power、AD/DA、DI/DO、Signal Out、Signal In)全部公开并遵从统一的电气标准;
⑤*融合以太网TCP/IP协议和高速USB的双通讯接口,完全实现采样点的高实时性和时间间隔的准确性,确保通讯的高稳定和数据的可靠性;
⑥*具有16×4液晶显示屏,实时交替显示系统状态指示、序列号、物理地址,接收数据包数量/发送数据包数量等。
4.软件系统:
①*具有简体、繁体和英文多种语言版本的在线控制软件和后处理软件均支持新的Win10,并兼容Windows 7/Vista/XP/2000/NT/9X;
②*在线控制软件:具备双向、往返、线扫描等多种扫描模式,针尖表征及图像重建功能(针尖形貌估计/图像重建/用已知针尖重建图像),矢量扫描脚本编译器,扫描图像亮度、对比度实时动态,多通道信号同时采集和显示,具备实时在线三维图像显示功能;
③*图像处理软件:具有数据导出功能,用户可取得原始数据;图像同步功能,可指定多达4个相关图像同步处理;用户任意定义的24位系统调色板(伪彩色方案); 图像滤波(平均值滤波/卷积滤波/高斯滤波/局部统计滤波/中值滤波/排序滤波/滚球滤波/TOP-HAT滤波/消除扫描线。
CSPM6000光学-原子力显微镜一体机基本配置
基本配置(含原子力、横向力、接触模式、轻敲模式、相移成像模式)
包括: 1、CSPM6000型探头(光路偏平设计)
2、CSPM6000型主控机箱
3、计算机系统
DELL,奔腾双核处理器,500 GB HD,2G 内存,16X DVD-ROM ,19" 液晶显示器
4、控制软件和后处理软件(for Windows 10/7/XP/Vista版)
5、1.5um×1.5um扫描器和15um×15um扫描器(可调换其它)
6、AFM/LFM探针架
7、原子力微悬臂探针20枚(接触和轻敲各10枚)
8、样品台10枚
磁性/非磁性样品台各5枚,直径:12.5mm;厚度:1.5mm
9、光学显微镜系统
10、两级样品调节机构
11、专用便携式工具箱(包括工具组)
12、CSPM系列用户手册