仪器简介:
VEGA 3 SBU/SBH适用于对于观察芯片、高分子材料、粉末等所有体积小,重量较轻的样品观察。该机型分辨率不逊色于同一系列其他机型,且对环境要求较低,性价比非常高。如果您在寻找低价位,高性能的扫描电子显微镜,不妨考虑此型号。
1.独有的四透镜大视野光学(Wide Field Optics™)和Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计,提供了多种工作模式和显示模式。
2.成像速度快。
3.镜筒内没有需要机械对中结构,取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。
4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。
5.高吞吐量/自动取域。例:自动颗粒定点分析。
6.出众的电动载台设计,支持能谱仪(EDX),波谱仪(WDX),背散射电子衍射仪(EBSD)。
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵,因而可以快速简单得到干净的真空样品室。
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。
10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压,自动补偿偏压,改变电子束大小,
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差等。
11.完全自动的软件安装.
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.影像显示尺寸
1)实时图像显示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。
2)储存图像显示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。
II.扫描速度:从20ns/图素到10ms/图素,可阶级式或连续式的调整。
III.聚焦窗口:可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 图像处理(Image processing):提供锐化(Sharpening)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐去噪声
化(Noise Reduction)等15种图像处理功能。
VI.量测功能:提供量测任意两点的距离,量测任意夹角,不规则形状的面积和周长,划指示箭头,写说明文字等13种图像量测的功能
VII.图像存盘:
1).浏览已储存图像的相本。
2).找寻已储存图像的数据库系统。
3).报告产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的图像均可处理。
13.卓越的分析品质;
1)选择目标区域:以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。
2)3D扫描:可通过各探头的配合,显示真实的三维图象。
3)硬度分析:以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。
4)多图片校正:可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。
5)打印放大倍数:调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。
6)关机时间设定:可以设定第一次自动关机时间。
7)公差
可选配软件
8)形态学:该软件可对样品图片进行自动分析,测量和分类。其图片来源可以是显微镜,数码相机等。
9)颗粒度分析:可以对多区域内的样品进行自动测量,分析和分类(不过分析样品必须在扫描窗口内)。该软件结合形态学软件使用,功能更加完善。
10)自动连续截图
11)样品观测
12)鼠标连接:安装该软件后,可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备
技术参数:
VEGA 3 SBH
分辨率
高真空(二次电子)
低真空(背散射电子) |
3nm(30kV),8nm(3kV)
/
|
工作真空
低真空 |
9x10-3 Pa
/ |
电子光学工作模式 |
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 |
3x-1,000,000x连续可调 |
加速电压 |
200V至30KV |
电子枪 |
钨灯丝 |
探针电流 |
1pA至2μA |
扫描速度 |
从20ns/pixel至10ms/pixel,可逐步或连续调整 |
聚焦窗口 |
形状、尺寸和位置连续可调 |
扫描特性 |
动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 |
最大可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1 |
显微镜控制 |
通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 |
实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度等级调整 |
远程控制 |
通过TCP/IP |
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样品室 |
内部尺寸 |
Ф160mm |
门宽 |
120mm |
接口数量 |
10 |
样品室减振方式 |
机械减振 |
|
|
样品载台 |
类型 |
3轴马达控制 |
移动范围 |
X=45mm——马达控制
Y=45mm——马达控制
Z=27mm——手动控制
Z'=6mm——手动控制
旋转:360°连续可调——马达控制
倾斜:-90°到+90°——手动控制 |
样品高度 |
最大36mm |
|
|
|
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VEGA 3 SBU
分辨率
高真空(二次电子)
低真空(BSE,LVSTD) |
3nm(30kV),8nm(3kV)
3.5nm(30kV)
|
工作真空
低真空 |
3-500Pa(可选配2000Pa)
|
电子光学工作模式 |
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 |
3x-1,000,000x |
加速电压 |
200V至30KV |
电子枪 |
钨灯丝 |
探针电流 |
1pA至2μA |
扫描速度 |
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 |
形状、尺寸和位置连续可调 |
扫描特性 |
动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 |
最大可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1 |
显微镜控制 |
通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 |
真空控制,灯丝加热,电子枪合轴,扫描模式对中,加速电压改变的补偿,最优化束斑大小和探针电流,最优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,亮度和对比度,聚焦和消像散,灰阶观察表格. |
远程控制 |
通过TCP/IP |
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样品室 |
内部尺寸 |
Ф160mm |
门宽 |
120mm |
接口数量 |
10 |
样品室减振方式 |
机械减振 |
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样品载台 |
类型 |
3轴马达控制 |
移动范围 |
X=45mm——马达控制
Y=45mm——马达控制
Z=27mm——手动控制
Z'=6mm——手动控制
旋转:360°连续可调——马达控制
倾斜:-90°到+90°——手动控制 |
样品高度 |
最大36mm |
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主要特点:
国内唯一一家已实现中文操作界面的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,Channeling模式,非常方便寻找样品位置;
3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
5.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
6.10个外扩展接口,可安装更多的附件
7.特有的远程控制软件