Tescan聚焦离子束扫描电镜VELA3（VELA3 FIB-SEM）

VELA 3  是TESCAN最新推出的一款聚焦离子束显微镜,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计。该型号样品台行程大，可承受最大样品重量甚至可达10Kg，是现有样品台可载重最大的扫描电子显微镜。使用于航空航天，汽车配件，发动机等事业单位和研究单位，其超大的样品室和载重可为您带来无可比拟的便捷，使得对一些不方便进行切割等处理的样品的观察成为可能。 
    U型为高低可变真空，H型为高真空电镜
    LM型为大样品室，XM为超大样品室，GM为超级样品室

1.独有的四透镜大视野光学（Wide Field Optics™）和Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计，提供了多种工作模式和显示模式。 
2.选配了气体注入系统。 
3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。 
4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。 
5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。 
6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。 
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。 
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。 
10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压，自动补偿偏压,改变电子束大小， 
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差等。 
11.完全自动的软件安装. 
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析; 
I.影像显示尺寸 
1)实时图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。 
2)储存图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。 
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。 
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。 
II.扫描速度：从160ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。 
III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。 
IV.动态聚焦,点&线扫描 
V. 图像处理(Image processing)：提供锐化(Sharpening)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐去噪声 
化(Noise Reduction)等15种图像处理功能。 
VI.量测功能：提供量测任意两点的距离，量测任意夹角，不规则形状的面积和周长，划指示箭头，写说明文字等13种图像量测的功能 
VII.图像存盘： 
1).浏览已储存图像的相本。 
2).找寻已储存图像的数据库系统。 
3).报告产生及从程序中直接打印。 
4).实时或储存的图像均可处理。 
13.卓越的分析品质; 
1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。 
2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。 
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。 
4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。 
5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。 
6)关机时间设定：可以设定第一次自动关机时间。 
7)公差 
可选配软件 
8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。 
9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。 
10)自动连续截图 
11)样品观测 
12)鼠标连接：安装该软件后，可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。

国内首家使用中文操作界面的电镜厂商 
  1.系统实现了电子束和离子束的共聚焦，有气体注入系统; 
  2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置;倾斜电子束模式 
  3.独创的低真空二次电子探测器(LVSTD). 
  4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 
  5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，FIB电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 
  6.采用气垫减振系统 
  7.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 
  8.完善的自动功能，能帮助您更快更好的获取图片 
  9.9个以上外扩展接口. 
  10.可进行远程控制