一键式全自动快速椭偏仪（Auto SE ）

Auto SE是一种新型的按键式全自动薄膜测量分析工具，仅需简单的几个按键操作，即可完成全自动测量和分析。仅几秒钟即可完成样品分析，并提供完整的样品堆叠特性报告-包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。

        Auto SE 是一种高性能系统，它包括XYZ自动样品台、测量点实时成像和光斑尺寸自动选择功能，其各种各样的附件可满足用户对多种应用的需求。Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题、同时提供完整的操作指南，实现对故障进行轻松处理。便捷的操作性能和大量自动化特性，使得 Auto SE 成为一种可用于常规薄膜测量和质量控制的理想设备。

       2008年10月，该仪器一经上市，即获得 SEMICON Europa “2008 IC Industry New System Award”(2008 IC产业新产品奖)

技术参数：

光谱范围：
     440-858nm

光斑尺寸：
     500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm;
     250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm;
     50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm

测试时间：
     通常为5秒，最快可小于1秒
精确度：
     NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n(632.8 nm) ± 0.002， Fused silica: n ± 0.004观测样品： CCD-视场范围1.33*1mm，分辨率1µm
重复性：
     ± 0.2 Å  (测试条件 NIST 150 Å SiO2 /Si )
样品台尺寸：
     200mmX200mm；XYZ方向自动调节；真空检测；Z轴高度50mm
探测器：
     CCD
分辨率：
     2nm
测角仪：
     固定在70度，可预设为66度或者61.5度

主要特点：

        新型全自动薄膜测量分析工具，仅需几个按钮即可完成全自动测量和分析，仅几秒钟即可完成样品分析，并提供完整的样品薄膜堆叠特性报告：包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。

        其专利技术的MyAutoView光斑可视系统，可保证用户每次都在精确的位置进行测量，精确定位样品上的测量区域，并具备独特的透明基底测量技术。

       高性能系统：可自动装载和调整样品，自动样品成像，440到850纳米快速测量（<1秒）；可提供8种光斑尺寸的自动选择，并配有多种仪器附件以满足各种应用需要。

        具有卓越的智能诊断功能：借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理。该系统集成了标样的样品台，可随时对设备自动校准。该技术使仪器的维护变得非常简单。