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此泵的氮气抽速为 450 ls-1。STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。
功能和优势
- 紧凑型设计，包括完全集成的控制器
- 创新性自传感轴承系统
- 数字化 5 轴控制
- 与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
- 可以配置为运行腐蚀性制程
- 自动平衡系统 (ABS) 标准
- 自动减振 (AVR) 标准
- 列于 UL 中，具有 CE 标记，符合 SEMI® S2
技术数据
| 入口法兰 | ISO100K |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >1 x 104 |
| 极限压力 | 6.5 x 10-6 Pa |
| 最大工作压力 | 1.3 x 10-1 Pa |
| 允许的前级压力 | 67 Pa |
| 额定速度 | 55000 rpm |
| 启动时间 | <6 分钟 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 冷却方法 | 自然冷却（加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却） |
| 润滑油 | 不需要 |
| 前级泵 | 240 lmin-1 |
| 泄露磁通量 | |
| 轴向方向 | <100 m/Gauss |
| 径向方向 | <100 m/Gauss |
| 环境温度范围 | 0 至 40 °C |
| 存储环境温度范围 | -25 至 55 °C |
| 重量 | 15 kg |
应用
- 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
- 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
- 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源，射束线泵送端点站
- MBE
- 扩散
- 光致抗蚀剂脱模
- 晶体/晶膜生长
- 晶片检查
- 负载锁真空腔
- 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
- 高能物理：射束线、加速器
- 放射线应用：融合系统、回旋
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企业名称
埃地沃兹贸易(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
913101156073988010
成立日期
1998-11-06
注册资本
美元1060.0000万
经营范围
区内以工业气体、真空设备和其他相关设备为主的仓储(除危险品)、分拨业务;国际贸易、转口贸易,区内企业间的贸易及贸易代理;区内商业性简单加工及贸易咨询服务、技术咨询;润滑剂、硫化橡胶(硬质橡胶除外)的其他商品、钢铁制品、机械设备及其零部件、电气设备、测量控制仪器及其零部件的批发、网上零售、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其他相关配套业务;上述产品的测试、售后服务及维修业务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的、按国家有关规定办理申请),机械设备的经营性租赁。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动]
埃地沃兹贸易（上海）有限公司
公司地址
上海市浦东新区申江路5005号星创科技广场2号楼8层
客服电话
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