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分子泵产品介绍

2012-07-11 17:34

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资料摘要:

涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。其使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至最低。
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本手冊為提供Edwards RV3、RV5、RV8 及RV12 旋轉葉輪泵的安裝、操作及維護說明。請按照本手冊所指定的方式使 用本泵。

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