2018/09/25 13:29
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分辨率是扫描电镜(SEM)最重要的参数之一。分辨率越好,可以看到的特征尺寸越小。分辨率的好坏往往取决于聚焦在样品上的电子束斑的直径(即束斑尺寸)。
在非理想电子光学系统中,束斑尺寸会因像差而变大。什么是电子光学系统中的像差?它们如何影响束斑尺寸?在这篇博客中,将回答这些问题并进行深入的分析。
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